Шаги технического обслуживания машины вакуумного покрытия

Прежде всего, необходимо обеспечить, чтобы машина для нанесения покрытий находилась в полном контакте с грунтом. Диффузионный насос и масляный насос-дозатор должны быть подключены к охлаждающей воде перед нагревом и включить насос-утилизатор. Кроме того, удерживающий насос должен поддерживаться в течение получаса после того, как диффузионный насос и насос бустерного насоса перестанут работать. Вода должна быть отключена через час. Но если насос не охлаждается до температуры ниже 80 ° C, охлаждающая вода не должна обрезаться, чтобы предотвратить сжигание сердечника насоса.

Как диффузионный насос, так и дожимной насос имеют резервный выход воды. Если машина для нанесения покрытий или питание не работают, необходимо использовать резервную розетку для охлаждения диффузионного насоса и дожимного насоса. Перед эксплуатацией покрытия все оборудование должно быть подключено к системе охлаждающей воды, чтобы предотвратить сжигание электродов и подложки. Диффузионный насос и масляный насос не должны вступать в контакт с атмосферой при нагревании, чтобы избежать окисления масла насоса. Регулярно проверяйте и отрегулируйте реле потока воды, чтобы проверить, является ли аварийный сигнал об отключении воды нормальным, и убедитесь, что система охлаждения охлаждающей воды оборудования разблокирована. При демонтаже и сборке деталей машинного оборудования следите за тем, чтобы защитить поверхности уплотнения от механических царапин или повреждений, чтобы обеспечить надежную герметизацию машины для нанесения покрытий.

Вакуумные уплотненные части трансмиссионных валов полностью герметизированы в виде «каркасных масляных уплотнений». Каркасные масляные уплотнения заполняются вакуумной смазкой и маслом диффузионного насоса с очень низким давлением насыщенных паров масла. Он будет изнашиваться на некоторое время и должен быть заполнен той же вакуумной смазкой и маслом для диффузионного насоса. Обратите внимание: никогда не используйте другие масла.