Анализ мощности, способствующей переносу магнетронных мишеней
May 24, 2018| 1. Целевая область и диапазон мощности нагрузки
(1) Плотность мощности круговой плоской магнетронной мишени обычно составляет 1 ~ 25 Вт / см 2
(2) Плотность мощности прямоугольной плоской магнетронной мишени составляет 1 ~ 36 Вт / см 2
(3) Плотность мощности столбчатой магнетронной мишени и конической плоской магнетронной мишени (S-пушка) составляет обычно 40 ~ 50 Вт / см 2 .
2. Фактическая несущая способность магнетронной мишени
В дополнение к технологии распыления и требованиям качества пленки фактическая несущая способность магнетронной мишени также тесно связана с условиями охлаждения и условиями рассеивания тепла мишени.
Магнетронные цели можно разделить на два типа: «цель прямого охлаждения воды» и «цель косвенного охлаждения воды» на основе метода охлаждения.
Учитывая старение объекта после долговременного использования, условия его рассеивания в условиях плохой работы и с учетом различных коэффициентов теплоотдачи различных материалов-мишеней, предельная мощность нагрузки магнетронной мишени и фактическая максимальная мощность цели прямого охлаждения воды может быть задано слегка меньше верхнего предела диапазона плотности мощности. И фактическая максимальная нагрузка непрямой цели водяного охлаждения может быть установлена примерно на половину верхнего предела диапазона плотности мощности.
Когда магнетронные мишени (в основном Cu, Ag, Brass и Al bronze) «самоиспыляющиеся», он обычно использует мишень с магнетронным распылением, специально предназначенную для «прямого охлаждения воды». Конечная несущая способность для использования должна быть больше, чем верхний предел целевого диапазона плотности мощности.