История развития истории развития молекулярный насос
May 23, 2018| 1. ранние молекулярный насос
В 1912 году немецкий названный W.Gaede изобрел первый молекулярный насос в мире, диаметр его ротора составляет 50 мм, и есть 8 слотов в разных размеров на роторы. Оборотный скорость-12, 000r/мин и скорость откачивания находится около 1.5 L / s. Принцип работы этого раннего насоса же, что и современные молекулярный насос, но она быстро устранена из-за много отказа так, что она не была общедоступной.
В 1926 году м. Сигбан разработал молекулярный насос тип диска в лаборатории университета в Швеции. Его структура аналогична современной скребковые молекулярный насос. Корпус насоса имеет винтовой канавки и ротора диска. В 1939 году LE смелые производится двумя насосами с диаметром 540 мм. 22 x 22 мм с внутренней стороны и 22 мм x 1 мм на наружной размеры канавки. Оборотный скорость составляет 3, 700r/мин и скорость откачивания 73 Л/сек.
Начале молекулярной насосы являются все насосы молекулярные тяги. С недостатки больших объемов низкий накачки скорости, небольшие пробелы и много ошибок, это многие ограничения в применении, и поэтому он может использоваться только в некоторых специальных областях и не была общедоступной.
2. Рождение турбомолекулярные насосы
В 1957 году W. Becker ПФАЙФФЕР GmbH в Германии изобретена новой молекулярный насос, названный турбомолекулярный насос. Горизонтальная структура и полости насоса оборудован лезвие статические и динамические строки. Газ поступает через впускной порт в центре насоса и протекает через всасывающий канал с обеих сторон корпуса насоса. Сжатый воздух освобождается от выхлопной порт после сжимается в конечный массив. Ротор этой турбомолекулярный насос состоит из 19 лезвие строк. Как показано на рис. 2, диаметр 170 мм, оборотный скорость 16, 000r/мин, скорость откачивания-140 Л/с.
В 1966 году, корпорация SENCMA во Франции разработаны 14 лезвия строк вертикальную турбомолекулярный насос, диаметр ротора составляет 286 мм, оборотный скорость-12, 000r/мин и скорость накачки-650 Л/с, который создает вертикальный турбомолекулярный насос пионер.
Существует много производителей проектировать и производить молекулярной насосы молекулярные насосов с сильной способности в Японии. В 1971 году Институт физических и химических исследований Японии успешно разработал 13, вращающиеся лопасти строки молекулярный насос и 12 стационарных лопастного ротора молекулярный насос, диаметр ротора составляет 300 мм и оборотный скорость is12, 000 r/мин. В 1990 году Япония Осака вакуум компания впервые успешно разработали крупномасштабные молекулярный насос откачки скорость 25 000 Л/с.
В настоящее время основная структура современных молекулярных насосы горизонтальные и вертикальные. Горизонтальные молекулярный насос имеет преимущества единой силы ротора, хорошее отношение позиционирования силы государства, долгий срок службы, стационарные ротора позиции во время замены, и простота обслуживания. Однако Ассамблея процесс вертикальной молекулярный насос проще, чем горизонтальные молекулярный насос, поэтому скорость разработки вертикальных молекулярный насос в последние годы очень быстро.
3. современные молекулярный насос
С момента рождения молекулярный насос была история почти сто лет. С непрерывное улучшение различных науки и техники молекулярный насос технологии также сделал много нововведений и достижений. Современная молекулярная насос более умный, гибким и эффективным.
В последние годы, с быстрым развитием теории управления и компьютерной технологии и прикладной для молекулярной насосов, молекулярные насосов были под контролем компьютера и понял, пульт дистанционного управления насоса. В то же время на основе информационных технологий, безопасности и системы контроля привели к развитию молекулярных насосов в направлении разведки.
Основной параметр молекулярный насос является скорость откачивания. Увеличение скорости вращения является одним из самых прямых методов увеличить скорость откачивания. С развитием динамической балансировки технологии молекулярный насос ротора может плавно работать на ультра-высокой скорости. И с развитием науки о материалах, материал ротора молекулярный насос также изменился, он может быть изготовлены из твердых алюминиевого сплава, углеродное волокно, сплав титана и других материалов высокой твердости, которые далее улучшить скорость вращения ротора.
В последние годы с развитием индустрии полупроводников молекулярный насос требуется постоянно выхлопных газов большой объем в условиях высокого давления и обеспечения чистого вакуума во многих случаях. Много упала производительность традиционных турбомолекулярные насосы в этой среде и трудно гарантировать результаты разработки. Чтобы молекулярный насос адаптироваться к высоким давлением рабочей среды, часть тяги молекулярный насос добавляется на оригинальные турбо молекулярный насос и турбо молекулярный насос и конечные молекулярный насос связаны в серии сформировать единое молекулярный насос (как показано на рисунке 3) с преимуществами как турбо молекулярный насос и конечные молекулярный насос.
Кроме того ряд новых типов молекулярной насосов появились в последние годы, например, низкой температуры молекулярной насосов, которые могут эффективно извлекать молекул воды, керамические молекулярной насосов, которые могут функционировать при сильных магнитных полей и сильной коррозии условия и молекулярных насосы магнитная подвеска с преимуществами бесконтактной поддержки, высокой эффективности и светские.