Ультравысокий характер и классификация вакуумного устройства

Ультравысокие вакуумные установки, работающие выше 10-5pa, включают в себя диффузионный насос, сверхвысокий вакуумный блок молекулярного насоса и малоуглеродистый вакуумный агрегат. Устройство имеет следующие характеристики:

Максимальная степень вакуума главного насоса выше 10-7 ~ 10-8pa.

(2) может выдержать высокую температуру выпечки 200 ~ 450 ℃;

Парциальное давление обратного газа основного насоса низкое.

Для основного насоса с высокой селективностью он должен быть оснащен достаточно большим вспомогательным насосом.

(1) сверхвысокочастотная вакуумная установка диффузионного насоса

Конечный вакуум сверхвысоковольтных вакуумных установок с диффузионными насосами в качестве основных насосов составляет 10-7 ~ 10-8pa.

Чтобы уменьшить влияние обратной диффузии газа с передней ступени диффузионного насоса и обратную диффузию механического масла насоса на предельную степень вакуума, на передней ступени можно использовать диффузионный насос с более низкой скоростью откачки диффузионный насос для уменьшения степени сжатия и обратной диффузии. Если к впускному отверстию диффузионного насоса добавляется ловушка сублимации титана, парциальное давление азота из диффузионного насоса может быть дополнительно уменьшено и может быть получен сверхвысокий вакуум 10-11па.

(2) сверхвысоковольтный блок молекулярного насоса

Максимальный вакуум сверхвысоковольтных вакуумных установок, в основном используемых молекулярными насосами, составляет 10-8ppa, который характеризуется быстрым запуском и низким загрязнением нефтью.

Скорость откачки может быть увеличена за счет добавления жидкой азотной холодной ловушки в агрегат. Выходное отверстие механического насоса снабжено водяной холодной ловушкой для предотвращения попадания паров масла в систему.

(3) безмасляный блок сверхвысокого вакуума

Вакуумный блок, который не использует масло для создания рабочей жидкости и не уплотняется органическим материалом, называется сверхвысокой вакуумной установкой без масла. Обычно используемые основные насосы включают криогенный насос, титановый насос, ионный насос распыления и т. Д. По сравнению с масляным вакуумным блоком он имеет следующие преимущества:

Чистый вакуум и отсутствие источника загрязнения можно получить.

Когда запускается масляный вакуумный насос, предварительный насос может быть изолирован.

Если вентиляция внезапно прекратится, система не будет загрязнена;

В нем нет масла, нет шума и вибрации, что улучшает рабочую среду.

Терминальная степень вакуума высокая, скорость откачки высокая, а время откачки короткое.