Типичный тип вакуумной системы
Jun 30, 2018| Система, которая использовалась для удовлетворения определенных технологических требований, способных получать и измерять требуемый вакуум, называется вакуумной системой. Более полная вакуумная система состоит из вакуумной камеры, необходимого вакуумного насоса или вакуумного блока, вакуумного измерительного устройства, соединительного трубопровода, вакуумного клапана, ловушки и других вакуумных компонентов и электрической системы управления. Типичная вакуумная система показана на рис. 1 и 2.
1. Отводящий клапан вакуумной камеры 2. Ионизационный вакуумметр 3. Термопарный вакуумметр 4. Регулятор расхода
5. Клапан с высоким вакуумом 6. Диффузионный насос 7. Газохранилище
8. Манометр термопары (измеряет давление перед диффузионным насосом) 9. Резервный клапан 10. Датчик давления
11. Предварительно откачивающий клапан 12. Корневой вакуумный насос 13. Байпасный клапан 14. Электромагнитный клапан сброса
15. Механический вакуумный насос
Рис.1 Принципиальная схема типичной вакуумной системы
1. Вакуумная камера 2. Ионизационный вакуумметр 3. Термопара вакуумный манометр 4. Дефляционный клапан
5. Клапан с высоким вакуумом 6. Холодная ловушка 7. Диффузионный насос 8. Резервный клапан 9. Электромагнитный клапан сброса
10. Механический вакуумный насос 11 Предварительный насос
Рис.2. Схема типичной вакуумной системы