Очистка перед покрытием PVD

Иногда недооцениваемая часть производственного цикла представляет собой предварительную очистку продуктов до покрытия PVD. Часть процесса PVD сама по себе является этапом травления; однако это в основном означает конечный штрих, чтобы обеспечить идеальную адгезию. Технология, наиболее используемая при предварительной очистке, - ультразвуковая щелочная очистка.

Типичная линия очистки состоит из ванн с щелочными чистящими средствами на водной основе, ваннами для полоскания с городской водой, водой RO и водой DI и вакуумной или сушильной станцией горячего воздуха. Следует соблюдать осторожность, чтобы во входе в линию очистки не осталось ни одного кремниевого полировочного соединения или на изделиях. Линия очистки должна иметь достаточную гибкость для обеспечения надлежащей очистки всех материалов подложки. Агрегаты, используемые для латуни, могут не подходить для цинка. Вода DI в ваннах для полоскания должна быть достаточно хорошей, чтобы не образовываться сухие пятна на изделиях. Наконец, сушильная станция должна быть регулируемой, чтобы обеспечить хорошую сушку материалов с низкой и высокой температурой.