Скорость, с которой ионный насос перекачивает водород

Скорость, с которой ионный насос перекачивает водород

Ионный насос перекачивает газообразный водород с очень высокой скоростью, главным образом потому, что газообразный водород может диффундировать глубже в катод и его трудно высвободить при последующей ионной бомбардировке. Более того, диффузия водорода в титановых материалах очень высока, поэтому можно считать, что при накачке водорода ионный насос всегда работает в ненасыщенном состоянии. Тот же ионный насос может перекачивать водород более чем в два раза быстрее, чем азот при том же давлении.

Рисунок 2 - Скорость откачки диода и ионного насоса StarCell для водорода
Молекулярная масса водорода очень мала, а скорость распыления (коэффициент распыления) очень низкая, поэтому, когда ионный насос работает при очень низком давлении, если источником газа является в основном водород, распыленного свежего катодного материала будет очень мало. , и вероятность потребления водорода в реакции с ним относительно невелика. Однако если перекачиваемый газ содержит другие более тяжелые газы, скорость распыления соответственно увеличится, и будет достигнута более высокая скорость откачки водорода.

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com