Скорость извлечения метана ионным насосом
Sep 19, 2023| Скорость извлечения метана ионным насосом
Метан является одной из основных причин затухания пучка ускорителя. Метан, являющийся продуктом реакции между водородом и углеродом в металлических материалах, является распространенным источником газа в системах сверхвысокого вакуума.
Хотя метан не является инертным газом, он не реагирует ни с каким геттером, а также не реагирует с катодным материалом, распыленным в ионном насосе, поэтому обычный биполярный ионный насос почти не имеет скорости откачки метана, аналогично процессу инертного ионного насоса. газ, хотим перекачивать метан. Нам пришлось похоронить более эффективные ионные насосы StarCell и Noble Diode.
За счет пеннинговского разряда в ионном насосе молекулы метана (как и других молекул углеводородов) расщепляются и превращаются в более мелкие частицы (С, СН3,... Н), которые имеют большую вероятность «откачиваться» и Ионный насос StarCell будет перекачивать метан и легкие углеводороды даже быстрее, чем азот.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com