Вопросы, требующие внимания при выборе цели покрытия PVD
Jun 04, 2018| В дополнение к нанесению покрытий при выборе правильных целей следует учитывать следующие проблемы:
◆ Он должен иметь хорошую механическую прочность и химическую стойкость после образования пленки.
◆ Он должен иметь хорошую силу склеивания с подложкой после формирования целевой пленки. В противном случае следует использовать пленочный материал с хорошей адгезией к подложке. Сначала слой напыленной пленки распыляется, а затем наносится желаемый слой пленки.
◆ Пленочные материалы, используемые для реакционной распыляющей пленки, должны легко реагировать с реакционноспособным газом с образованием составных пленок.
◆ В соответствии с предпосылкой удовлетворения требований к характеристикам покрытия, чем меньше разница между коэффициентом теплового расширения мишени и подложки, тем лучше. Чтобы уменьшить влияние теплового напряжения
◆ Отобранная цель должна соответствовать техническим требованиям чистоты, содержания примесей, однородности компонентов, точности обработки и т. Д.
