Вопросы, требующие внимания при выборе целей покрытия PVD

При выборе целей, кроме нанесения покрытий, следует учитывать также следующие вопросы:

◆ Покрытие, нанесенное мишенями, должно иметь хорошую механическую прочность и химическую стойкость

◆ Покрытие, нанесенное мишенями, должно иметь хорошую связывающую силу с подложкой. В противном случае следует использовать материалы покрытия с хорошей силой связывания с подложкой и сначала распылять и осаждать основную мембрану, а затем готовить желаемые покрытия.

◆ Поскольку покрытие образовано реактивным распылением, материалы покрытия должны быть легко реагировать с газом и образовывать сложную пленку.

◆ В соответствии с предпосылкой удовлетворения требований к характеристикам покрытия, чем меньше разность коэффициента теплового расширения между мишенью и подложкой, тем лучше, чтобы уменьшить влияние теплового напряжения.

◆ Цель должна соответствовать техническим требованиям чистоты, содержания примесей, однородности компонентов, точности обработки и т. Д.