Влияние процесса производства ПВД-покрытия на толщину покрытия
Mar 26, 2018| Наиболее важным в процессе покрытия PVD является метод зажима, который будет определять толщину и однородность покрытия. И нет сомнений в том, что толщина покрытия влияет на его срок службы. Однако, чем толще покрытие, тем лучше его продолжительность жизни. На одной и той же заготовке различное применение требует различной толщины. И другая деталь также нуждается в различной толщине. Таким образом, регулировка толщины покрытия важна.
Толщина покрытия в основном определяется процедурой покрытия. Некоторые процедуры имеют определенный диапазон толщины покрытия, а толщина покрытия существенно варьируется в этом диапазоне. Однако метод зажима детали также сильно влияет на толщину покрытия. При неправильном зажатии толщина покрытия будет превышать диапазон, заданный программой.
Размер вращения заготовки влияет на толщину покрытия. Заготовки должны вращаться в камере при покрытии. Существует три способа вращения заготовки: одномерное вращение, двумерное вращение и трехмерное вращение. Для той же процедуры нанесения покрытия, чем больше размеров вращения, тем более тонкое покрытие. Толщина двумерного спинового покрытия примерно в 5 раз превышает толщину трехмерного спинового покрытия, а толщина одномерного спинового покрытия примерно в 1,5 раза больше толщины двумерного спинового покрытия. Предполагая, что толщина покрытия трехмерного вращения равна 2 мкм, а затем толщина покрытия двумерной вращающейся заготовки составляет около 3 мкм, тогда как толщина покрытия одномерного вращающегося вращения может достигать 4,5 мкм или более.
При зажатии заготовки плотность заготовки также влияет на толщину покрытия. Толщина покрытия заготовки, где зажим сильно интенсивно, и толщина покрытия заготовки, где зажаты редко, велика.
На рисунке выше показано распределение толщины покрытия на одном зубце варочной панели. На рисунке ниже показано распределение толщины покрытия в разных положениях сверла.
Таким образом, можно видеть, что толщина различных частей инструмента сильно зависит от зажима, поэтому мы должны определить метод зажима, основанный на опыте.