Состав электронно-лучевого испарительного покрытия машины

Состав электронно-лучевого испарительного покрытия машины

Машина для нанесения покрытия с электронно-лучевым испарением состоит в основном из системы управления, системы истинного воздушного пути и системы электронной пушки. 1. В вакуумном воздушном тракте истинного воздушного пути машины для нанесения покрытия с электронно-лучевым испарением находятся два насоса, а именно механический насос передней ступени и высоковакуумный криогенный насос, среди которых криогенный насос работает главным образом при очень низкой температуре, согласно к первоначальной адсорбции холодного зонта для достижения цели вакуума. В процессе запуска высоковакуумного насоса при низкой температуре уровень механического насоса будет находиться до того, как трубопровод в вакуумном состоянии, когда вакуумный трубопровод достигнет определенной степени, откроется благоприятный клапан, этот уровень, прежде чем механический насос продолжит работу чтобы работать, сделать трубопровод и низкотемпературный насос находящимся в вакуумном состоянии, тогда, когда клапан бывшей ступени повторял вышеуказанные шаги. {{2}}. Источник нагрева и испарения электронного пучка Источник испарения электронного пучка состоит в основном из электронной пушки и тигля. При необходимости может быть прикреплен комплект механического оборудования, которое может обеспечить сырье для машины для нанесения покрытия. В большинстве случаев устройство управления, которое производит и управляет электронным пучком и конструкцией тигля, будет встроено в машину для нанесения покрытия. Ниже приведены несколько структур источников нагрева и испарения электронного пучка. Испаритель нагревают с помощью линейного катода и электростатической фокусировки. (2) испаритель, нагретый кольцевым катодом и электростатической фокусировкой. Испаритель нагревается осевой пушкой и электростатической дистанционной фокусировкой. Испаритель нагревается осевой пушкой, магнитной фокусировкой и магнитным отклонением 90 градусов. Пушечный испаритель E-типа, источник испарения пучка электронов E-типа, испускаемый траекторией электронов, аналогичен " 0010010 " E 0010010 "; Слово, так что это называется E пистолет. В настоящее время эта форма источника испарения наиболее широко используется в процессе вакуумного испарения и нанесения покрытий.

IKS-OPT 2700 машина для нанесения вакуумных лаков для оптических пистолетов，более подробную информацию, свяжитесь с:iks.pvd@foxmail.com