Контроллер массового расхода общего назначения - MKS 1179C
1179C - это контроллер массового расхода общего назначения, предназначенный для измерения и контроля потока газов в самых разных областях применения. Контроллеры массового расхода 1179 доступны с диапазоном полной шкалы от 10 с до 20 мкс, обеспечивая быстрый, повторяемый контроль потока до ...
- Внедрение продукции
ВВЕДЕНИЕ
1179C - это контроллер массового расхода общего назначения, предназначенный для измерения и контроля потока газов в самых разных областях применения. Контроллеры массового расхода 1179 доступны с диапазоном полной шкалы от 10 с до 20 см, обеспечивая быстрое, повторяемое управление потоком до 0,2 сантиметров. Он также может использоваться в качестве регулятора давления при подключении к соответствующему датчику давления.
1179C представляет собой прямую замену форм-функций для наиболее распространенных MFC сегодня. Стандартный 3-дюймовый след позволяет 1179C упасть прямо в одно и то же пространство без изменения существующих газопроводов. Электрические разъемы - это те же разъемы типа «D», с одинаковыми выводами, сигналами и функциями в качестве их отраслевых аналогов, поэтому нет необходимости в переустановке кабелей или разъемов. 1179C совместим с электропитанием MFC и электроникой дисплея от MKS или других производителей.
ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА
◆ Запатентованная конструкция 1 датчика обеспечивает исключительную стабильность нуля
◆ Полномасштабные диапазоны расхода от 10 с до 20 см для точного и повторяемого измерения расхода и контроля
◆ Процент полной точности шкалы для аналоговых конфигураций
◆ Быстрое время прогрева сводит к минимуму дорогостоящий простоя производства
◆ Совместимость с более ранними MKS MFC и модулями питания / считывания
◆ Строгий дизайн и тестирование включает в себя анализ MTBF и STRIFE для обеспечения долгосрочной эффективности
◆ Поверхность поверхности смачиваемых нержавеющих поверхностей, чистая обработка и минимальное использование эластомерных уплотнений позволяют использовать в сложных процессах очистки
◆ Двухлетняя гарантия обеспечивает качество и удовлетворенность клиентов
СОСТАВ
Диаграмма поперечного сечения контроллера массового расхода 1179C
Точность и повторяемость потока
На приведенном выше графике показана типичная точность потока и повторяемость MFC в аналоговом режиме в семействе 1179C. Измерения проводились с использованием калибровочного калибратора первичного стандартного калибратора MKS Instruments Califlow ® в течение 10 дней.
Стабильность нуля
На приведенном выше графике показана отличная стабильность нуля и диапазона датчика 1179C, используемого в семействе 1179. Приборы были включены и случайным образом проверены на отклонение нуля и диапазона в течение 19-месячного периода.
СПЕЦИФИКАЦИЯ
| Полный диапазон шкалы (эквивалент N 2) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 сантиметров | |
| Максимальное давление на входе | 150 psig | |
Нормальное рабочее давление дифференцированный (с атмосферными давление на выходе MFC) | От 10 до 5000 сантиметров | От 10 до 40 фунтов на квадратный дюйм |
| От 10000 до 30000 сантиметров | От 15 до 40 фунтов на квадратный дюйм | |
| Диапазон регулирования | От 2% до 100% от FS | |
Точность (аналоговая) (включая нелинейность, гистерезис и неповторяемость с учетом 760 мм рт. ст. и 0 ° C) | ± 1,0% от FS | |
| стабильность | ± 0,2% от FS | |
| разрешение | 0,1% от FS | |
| Коэффициенты температуры | Нуль | <0,05% от="" fs="" °=""> |
| пядь | <0,08% от="" rdg./=""> | |
| Время разогрева (с точностью до 0,2% от производительности стабильного состояния) | <2> | |
| Время установления контроллера (в соответствии с директивой SEMI E17-91) | <2> | |
| Коэффициент давления | <0,02% от=""> | |
| Нормальный диапазон рабочих температур | 0 ° C до 50 ° C | |
| Требуемое входное напряжение | Максимум. ток при запуске (первые 2 сек) | ± 15 В постоянного тока (± 5%) при 200 мА |
| Типичный ток в установившемся состоянии | ± 15 В постоянного тока (± 5%) при 100 мА | |
| Командный сигнал заданной точки | От 0 до 5 В постоянного тока от <20k> | |
| Выходной сигнал | От 0 до 5 В постоянного тока в> 10 кОм | |
| Выходное сопротивление | <1> | |
Типы соединителей аналоговый | 9-контактный или 15-контактный тип «D» (15-контактный разъем типа «D» в электронном виде совместим с другими контроллерами потока MKS . Проконсультируйтесь с разработчиками приложений.) | |
| Смачиваемые материалы | стандарт | 316L SS, Viton®, никель |
| Дополнительно (уплотнения и седло клапана) | Буна-N, Неопрен ®, Кальрез ® | |
| Целостность утечек | Внешний (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Через закрытый клапан | <1,0% от="" fs="" при="" входе="" 40="" psig="" в=""> (Чтобы обеспечить отсутствие сквозного потока, рекомендуется использовать отдельный положительный запорный клапан.) | |
| Фитинги (совместимые с) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| податливость | CE | |
РАЗМЕРНЫЕ ЧЕРТЕЖИ
Примечание. Если не указано иное, размеры являются номинальными значениями в дюймах (см. Ссылку на мм).
горячая этикетка : контроллер массового расхода общего назначения - mks 1179c, Китай, производители, поставщики, купить, индивидуальные, сделано в Китае
Вам также может понравиться
