Какую роль играет чиллер в процессе вакуумного покрытия?

Какую роль играет чиллер в процессе вакуумного нанесения покрытия?

Принцип работы вакуумного покрытия заключается в том, что тело пленки испаряется и падает на поверхность заготовки для кристаллизации при высокой температуре . Поскольку воздух при испарении мембранных молекул будет создавать сопротивление, вызванное столкновением кристаллов, становится грубым матовым, поэтому необходимо находиться в высоком вакууме, чтобы сделать кристалл прекрасным и ярким, если вакуум не высокий, кристалл потеряет блеск и плохое связывание сила. Раннее вакуумное покрытие зависит от испарения естественного рассеяния в сочетании с низкой эффективностью низкого блеска. Теперь, в дополнение к среднечастотной мишени магнетронного распыления, испаряющиеся молекулы тела пленки ускоряются, чтобы бомбить материал мишени под действием электрического поля с магнетронной мишенью, и большое количество атомов мишени распыляется, и нейтральные атомы мишени (или молекулы) осаждаются на подложке с образованием пленки, которая решает проблему разнообразия тел пленки, которое в прошлом не могло быть обработано естественным испарением, например, нанесение титана и циркония и так далее.

Если оборудование должно добавить охлаждающую воду, из-за его высокой частоты тока. Когда ток протекает в проводнике, возникает скин-эффект, и заряд накапливается в области поверхности проводимости, так что проводимость нагревается. Поэтому в качестве проводника используется трубка со средним отверстием, и для ее охлаждения добавляется вода.

Почему водяное охлаждение? Цели распыления магнетрона вызывают высокие температуры во время запуска, которые деформируют пистолет, поэтому у него есть кожух, чтобы охладить пистолет. В то же время есть еще одна важная причина, по которой магнетронное распыление можно рассматривать как одно из выдающихся достижений z * в технологии нанесения покрытий. Обладает высокой скоростью распыления, низким повышением температуры подложки и хорошей адгезией к пленочной основе.

Обсуждается общий принцип магнетронного распыления, поперечная неоднородность и симметрия магнитного поля. Магнетронное распыление можно считать одним из выдающихся достижений z * в технологии нанесения покрытий. Он характеризуется высокой скоростью распыления, низким повышением температуры подложки, хорошей адгезией к пленочной основе и стабильной работой устройства.

Чиллер - это оборудование для охлаждения воды, которое может обеспечивать постоянную температуру, постоянный ток, оборудование для охлаждения воды с постоянным давлением. Принцип работы заключается в том, чтобы сначала впрыскивать определенное количество воды в резервуар для воды машины, охлаждать воду через систему охлаждения. и затем отправьте низкотемпературную охлаждающую воду в охлаждающее оборудование с помощью водяного насоса, температура повышается после того, как охлаждающая вода отводит тепло, а затем возвращается в резервуар для воды для достижения охлаждающего эффекта. Температура охлаждающей воды может быть автоматически отрегулирована в соответствии с требованиями, длительное использование может сэкономить воду.

Чиллер может контролировать температуру вакуумной лакировочной машины для обеспечения высокого качества деталей покрытия. Если это не подходит для холодильной машины, машина вакуумного покрытия не может достичь цели высокой точности и контроля температуры с высокой эффективностью, так как природная вода и вода башни рассеивания тепла неизбежно зависит от естественной температуры, и этот способ управления является очень нестабильный

Холодная вода машина имеет полностью независимую систему охлаждения, не зависит от температуры и окружающей среды, температура воды в диапазоне регулировки от 5 ℃ ~ 30 ,, таким образом, достичь цели контроля температуры и высокой точности, высокая эффективность, машина холодной воды оснащена независимой система рециркуляции воды.

IKS PVD ， MF ( среднечастотная ) мегнетронная установка для напыления ， контакт ： iks.pvd@foxmail.com