вакуумный поток газа, регулирующий элементы

вакуумный поток газа, регулирующий элементы в принципе, общий ручной вакуумный регулятор, с надлежащим двигателем управления (например, серводвигателем, ступенчатый двигатель и т.д.) или гидравлическим цилиндром, путем регулировки сигнала управления двигателем или гидравлическим цилиндром, двигателя управления или гидравлического движения цилиндра, а затем трансформировать проводимость потока вакуумного клапана, затем изменил поток газа через вакуумный клапан , завершить вакуумную степень вакуумной камеры в вакуумном устройстве автоматической регулировки. Однако в настоящее время в Китае существует только три вида вакуумных клапанов управления потоком газа, производимых производителями вакуумных приборов: клапан управления электромагнитным потоком, клапан массометра и пьезоэлектрический клапан управления потоком, а отечественные устройства контроля давления в основном выбирают пьезоэлектрический клапан в качестве элемента управления вакуумным потоком газа. Пьезоэлектрический клапан является вакуумным клапаном управления потоком газа, сделанным из пьезоэлектрического эффекта. Ядром пьезоэлектрического клапана является пьезоэлектрический диафрагма из пьезоэлектрической керамики. Когда контрольное напряжение применяется к пьезоэлектрической керамической мембране, оно производит деформацию, пропорциональную значению применяемого напряжения. В то же время, диск прокладки двигаться. Затем меняется направляющий выступ пьезоэлектрического клапана, тем самым изменяя поток газа через пьезоэлектрический клапан. Когда контрольное напряжение не применяется к пьезоэлектрической керамической диафрагме, механическая сила пружины ACTS на пьезоэлектрической керамической диафрагме и герметичной прокладке, так что пьезоэлектрический клапан воздушной траектории закрывается. Таким образом, поток газа через пьезоэлектрический клапан может быть изменен путем изменения размера контрольного напряжения, применяемого на пьезоэлектрической керамической диафрагме. Таким образом, можно регулировать вакуумную степень в вакуумной камере вакуумного устройства.

IKS PVD компании, декоративное покрытие машины, инструменты покрытие машины, оптическое покрытие махсина, PVD вакуумной линии кроватки. Свяжитесь с нами сейчас, e-mail: iks.pvd@foxmail.com