Точки обслуживания оборудования для вакуумного покрытия после длительного прогона

Если оборудование для вакуумного покрытия непрерывно используется в течение более 6 месяцев, скорость откачивания оборудования для вакуумного покрытия, очевидно, замедляется, как его поддерживать? В этой статье в основном рассказывается об основных моментах оборудования для вакуумного покрытия после продолжительной эксплуатации.

Прежде всего, мы должны удалить соединительную трубу в атмосферу, завинтить винт сопла, затем полость бензинового насоса и очистку лайнера насоса, затем снова использовать стиральный порошок для промывки водой до тех пор, пока вода не испарится после установки насоса вкладыш, масло для насоса, чтобы добавить новую диффузию и заполнить новую весовую ботинок. Он должен уделить особое внимание этим работам по обслуживанию покрытий при перезагрузке, первое наблюдение за частью диффузионного насоса составляет до 6 * 10PA или должно протекать. Проверьте герметичность соединения или раздавите уплотнительное кольцо. Если утечка газа устранена, нагреватель можно нагреть, в противном случае масло диффузионного насоса будет гореть, что приведет к неспособности войти в рабочее состояние.

Когда оборудование вакуумного покрытия непрерывно подается в течение месяца, мы должны заменить новое масло, полностью слить старое масло, а затем добавить новое масло для насоса до определенной величины. Непрерывное использование более полугода, а затем масло вакуумного насоса должно открыть масляный чехол, протрите грязь тканью. Производители оборудования для вакуумного нанесения покрытий для проверки ситуации утечки - это обеспечение вакуумного контроля вакуумного оборудования, степень вакуума непосредственно влияет на эффект покрытия, поэтому обнаружение утечки является существенным.

Общая утечка вакуумной камеры образуется из стены перед небольшим отверстием в положении соединения или частями трещины в вентиляционной системе, когда накачивается падение давления в вакуумной камере, внутреннее и внешнее давление газа из давления вакуумной камеры высокий внешний поток низкое давление, вызванное уменьшением вакуума. Очень важно хорошо провести обнаружение утечки для оборудования для вакуумного покрытия. Существует множество причин снижения степени вакуума. Следовательно, эффект стабилизирующего покрытия должен быть решен.