Выбор типа вакуумного блока
Jun 30, 2018| 1. Состав и классификация вакуумных единиц
Вакуумный блок обычно состоит из следующих компонентов: различных вакуумных насосов, вакуумных измерительных приборов, вакуумных клапанов, вакуумных труб и некоторых других компонентов, таких как воздуходувки, вакуумные соединения, резервуары для хранения газа, сильфоны, пылесборники и вакуумные реле.
В соответствии с рабочим давлением блока имеются грубые вакуумные установки (> 1330Pa), узлы низкого вакуума (1330 ~ 0,13Pa), блоки высокого вакуума (0,13 ~ 1,3x10-6Pa), ультравысоковольтные вакуумные установки (1,3x10-6 ) ~ 1,3 × 10-11 Па) и блок с очень высоким вакуумом (<1,2 ×="" 10-11="">
2. Низкий вакуумный блок
Основными особенностями установки низкого вакуума являются высокое рабочее давление и большое смещение, но скорость откачки ниже, чем у блока высокого вакуума. Он в основном используется для грубой накачки вакуумной камеры и некоторых вакуумных установок, требующих высокого рабочего давления, таких как вакуумные разрядные устройства, вакуумные устройства для пропитки, вакуумные фильтры, вакуумные дегазационные установки, вакуумные сушильные установки и т. Д. Основными насосами низковакуумной установки являются поршневые вакуумные насосы, вакуумные насосы сальников, водоструйные насосы, струйные насосы с водяным паром, насосы с водяным кольцом, насосы с водяным паром, адсорбционные насосы с молекулярными ситами и насосы Roots. При использовании блока с низким вакуумом необходимо также сконфигурировать такие компоненты, как пылесборник и сухой фильтр, в соответствии с требованиями процесса относительно степени чистоты и влажности закачиваемого газа.
3. Высокий вакуумный блок
3.1 Выберите главный насос. Основным насосом может быть диффузионный насос, молекулярный насос, ионно-ионный насос, титановый насос, криогенный насос и т. Д.
3.2 Выберите вспомогательный насос и трубу для хранения газа (ударопрочный, сократите рабочий цикл, предотвратите большое количество вентиляции в вакуумной камере и стабилизируйте давление на выходе диффузионного насоса)
4. Ультравысокий вакуумный блок
Максимальный вакуум основного насоса высок, скорость утечки низкая, и он устойчив к выпечке при 200-450 ° C.
4.1 Диффузионный насос: уменьшить обратный поток и контролировать загрязнение.
4.2 Молекулярный насос: степень сжатия до водорода мала, а остаточный газ в основном является водородом.
4.3 Насос с ионным насосом: Обычно используется в комбинации с титановым насосом.
4.4 Криогенная насосная установка: нет загрязнения.