Скорость откачки ионного насоса для инертного газа

Скорость откачки ионным насосом инертного газа

Основное свойство благородных газов состоит в том, что они трудно вступают в реакцию с другими элементами. Следовательно, пленка, полученная распылением катодного материала, не вступает в реакцию с инертным газом. Кроме того, поскольку эффект диффузии инертного газа в материале катода также невелик, скорость накачки, создаваемая впрыском и диффузией в материал катода, также ограничена. Поэтому обычный биполярный ионный насос имеет очень небольшую скорость откачки инертного газа. Небольшая скорость откачки обусловлена ​​тем, что часть молекул инертного газа похоронена в распыленном катодном материале. После столкновения с катодом ионы инертного газа нейтрализуются на молекулы и рассеиваются от катода без потери энергии, и эти молекулы инертного газа сохраняют достаточную энергию для имплантации/прилипания к аноду или стенке насоса, где они будут похоронены под действием катода. катодный материал, полученный методом напыления.
Ионные насосы Noble Diode и StarCell имеют более высокую скорость откачки благородных газов за счет изменения типа материала катода или угла входа ионов, что увеличивает вероятность того, что инертные газы рассеются по анодной трубке или стенке насоса и захоронятся. Скорость откачки инертного газа ионным насосом StarCell может достигать около 20% от номинальной скорости откачки, что лучше, чем у Noble Diode. Более того, особая форма катода делает использование катодного материала более эффективным и, следовательно, имеет более длительный срок службы (примерно на 50% выше, чем у других форм ионных насосов).

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com