Прогресс технологии осаждения паров
Dec 22, 2022| Прогресс технологии осаждения из паровой фазы можно резюмировать следующим образом:
(1) Разработка оборудования. Например, оборудование для непрерывного испарения с большим электронным пучком, различные виды оборудования для магнетронного распыления, новое оборудование для ионного осаждения с дуговым источником и оборудование для нанесения композитного ионного покрытия с использованием нескольких дуг, различное оборудование IBAD и оборудование для плазменно-иммерсионной ионной имплантации (PIⅢI) и т. д.
(2) Ход процесса. В основном это проявляется в увеличении типов пленок и улучшении свойств пленок. Например, были получены различные высокоэффективные износостойкие, коррозионно-стойкие, высокотемпературные коррозионно-стойкие, термобарьерные пленки, пленки из алмазоподобного и кубического нитрида бора, а также разнообразные керамические, градиентные и многослойные композитные пленки. .
(3) Состав методов. Самая передовая технология осаждения из паровой фазы представляет собой комбинацию физического осаждения из паровой фазы и химического осаждения из паровой фазы. Они не только используют множество новых источников нагрева, но и в полной мере используют различные химические реакции, высокочастотное электромагнитное (импульсное, радиочастотное, микроволновое и т. д.) и плазменное воздействие для активации осажденных частиц. Например, реактивное испарение, реактивное распыление, ионно-лучевое распыление, различное плазменное химическое осаждение из паровой фазы и т. Д., В оборудовании IBAD и PⅢ есть более сложные методы. Внедрение лазерного луча позволяет не только напыление паром, но и композиционно различными способами.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытий на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, доступен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, Электронная почта:iks.pvd@foxmail.com