Система привода и система охлаждения оборудования PVD
Mar 31, 2018| Система привода
Система привода позволяет подложке течь из помещения подложки в устройство для нанесения напыления, чтобы выйти из устройства после завершения обработки. Система привода состоит из приводного двигателя, колесика прокрутки, преобразователя частоты и т. Д. Причины добавления системы накопителей:
(1) Обеспечить широкое распространение однородных покрытий.
(2) Простая в использовании автоматическая коробка передач.
Система охлаждения
Система охлаждения в основном состоит из целевого циркуляционного водяного молекулярного насоса, камеры, группы насосов и охлаждающей циркуляционной воды приводного двигателя. Его основная функция заключается в охлаждении вакуумной камеры, насоса, привода, источника питания и т. Д. Требованиями охлаждающей воды являются:
(1) Температура: 17 ~ 22 ° C;
(2) Давление: 2 ~ 3e0,05 Па;
(3) Магнитные частицы должны быть удалены из воды, а вода должна быть размягчена, pH = 6 ~ 8.