Структура вакуумного датчика сопротивления (вакуумметр Pirani)
May 28, 2018| Манометр сопротивления, также известный как датчик Пирани, отражает изменения давления, основанные на изменениях сопротивления горячей нити. Он в основном состоит из калибровочных и измерительных цепей. Диапазон измерения составляет от 104 до 10-1 Па.
Структура сопротивления манометра показана на рисунке 1. Цилиндрическая спиральная горячая проволока, намотанная проволокой с высоким коэффициентом сопротивления, инкапсулирована в корпус регулятора. Оба конца горячего провода выведены из измерительной трубки и подключают измерительную линию. Калибровочная оболочка может быть изготовлена из металла или стекла. Металлическая оболочка имеет преимущества долговечности, удобного удаления горячих нитей и т. Д. Недостатками являются плохая эффективность уплотнения и высокая цена. Стеклянная оболочка имеет преимущества хорошей герметизации и низкой цены, а недостатком является то, что она легко повреждается.
Коэффициент сопротивления сопротивления и удельное сопротивление некоторых резистивных проводов, которые наматывают нагревательный провод, показаны в таблице 4-1, среди которых обычно используются вольфрам, платина и никель. Чтобы обеспечить рабочую стабильность горячей проволоки, в дополнение к очистке поверхности горячей проволоки, иногда на поверхность горячей проволоки наносят тонкий слой стекла, кварца или тантала, чтобы избежать окисления или загрязнения горячей проволоки когда он используется под высоким давлением. Но считается, что этот метод увеличит его тепловую инерцию.
Металл: Вольфрам Платиновый никель Хром Иридий Молибден Железо Медь Серебро
Температура сопротивления
Коэффициент в 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29
(10 -3 · ℃ -1 )
Сопротивление в 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59
px10 -8 (Ω · m)
Таблица 4-1. Коэффициент температуры сопротивления и сопротивление некоторых металлов