Выбор и функционирование Газовый бак и насос для обслуживания

Из-за длительного времени запуска диффузионного насоса и маслонасосного насоса в периодически работающем оборудовании при погрузке и разгрузке, чтобы сократить рабочий период без отключения мощности диффузионного насоса и маслонасосного насоса , клапан высокого вакуума - клапан предварительного трубопровода закрыт, чтобы основной насос работал в нормальном режиме. Так как клапан всегда имеет очень небольшое количество утечки воздуха и поверхностной дефляции, давление на выходе основного насоса будет увеличиваться в течение определенного периода времени. Если он превышает максимальное давление на выходе основного насоса и возвращается к насосу, паров масла окисляется.

Для того чтобы решить эту проблему, один подход заключается в использовании подложки насоса продолжать откачивать основной разряд насоса газ, но в это время количество газа , выпускаемом из основного насоса очень мало, и существует явление , что поддерживающий насос является сверхквалифицированным и отнимает много энергии. Таким образом , другой метод может быть использован, остановить работу подложки насоса, закрыть клапан форвакуумных, и установить техническое обслуживание насос или газовый баллон на выходе из основного насоса, который может гарантировать , что газ в главном насосе может быть разряженной и спасенной энергии. Газовые цистерны не могут быть слишком большими, их можно использовать только на небольших системах, в которых в качестве основного насоса используется диффузионный насос, а удерживающий насос может использоваться на большой главной насосной системе. Еще одна функция резервуара для хранения газа заключается в том, что какое-то меньшее оборудование для нанесения не допускает вибрации в своем процессе, то есть опорный насос должен быть остановлен во время процесса, в это время газовый резервуар используется для хранения газа, выпускаемого из основного насоса обеспечить качество обрабатываемой детали во время процесса.

Расчет объема резервуара для хранения газа для антивибрационных целей основан на том, что газ, выпускаемый из вакуумной камеры диффузионным насосом, полностью выгружается в газовый резервуар, в результате чего давление в баке увеличивается на нет больше, чем Максимальное давление на выходе из диффузионного насоса.

Объем резервуара для хранения газа с целью экономии энергии и сокращения рабочего периода рассчитывается на основе следующих соображений: когда задний насос перестает работать, а диффузионный насос все еще находится в нормальном режиме работы, диффузионный насос разряжает газ до нефтяной резервуар. Источником газа в это время является скорость течения утечки между высоковакуумным клапаном на входе диффузионного насоса и клапаном линии на выходе из диффузионного насоса и потоком дефляции поверхности в интервале. Этот поток вызывает увеличение давления на выходе из диффузионного насоса, но он не может превышать максимального давления на выходе диффузионного насоса.

Целью использования насоса для обслуживания является экономия энергии. Он установлен на выходе насоса для подачи масляного пара, как правило, параллельно с предварительным механическим насосом. Это насос того же типа, что и опорный насос. Опыт показал , что поддержание скорости откачки насоса может быть одной десятой скорости откачки насоса подложки. Использование насоса для обслуживания может сэкономить много энергии и снизить уровень шума окружающей среды.