Быстрое решение об утечке

1. Проверьте уплотнение двери.

Проверьте, нет ли повреждений, загрязнений или пыли. Если это так, протрите уплотнение двери плотно, а затем равномерно нанесите смазку высокого вакуума.

2. Проверьте, неисправен ли опорный насос.

Методы:  

● Соблюдайте масляное окно механического насоса. Уровень масла высок, и масло будет распыляться, низкий уровень масла повлияет на смазку, повлияет на скорость откачки системы и повредит оборудование .

● Соблюдайте, прозрачен ли цвет масла. Если он черный, он показывает, что в полости насоса имеются примеси или истирание; если цвет масла белый; он показывает, что в него смешивается охлаждающее масло, оно будет влиять на смазку и уплотнение и влияет на скорость откачки, что приводит к быстрому откачку насоса.

● Проверьте электромагнитный клапан механического насоса. Удерживайте подачу электромагнитного клапана вручную. Если есть забор воздуха, клапан поврежден и его необходимо заменить.

● Измерьте время предварительной закачки механического насоса. При нормальных условиях степень вакуума 3-4 минуты может накачиваться до 10 Па. Если время откачки больше, это означает, что механический насос заставляет скорость откачки быть медленной.

3. Проверьте диффузионный насос и электрическую печь.

● Проверьте, не уменьшается ли температура электрического шкафа, нет электропроводки и температура печи подходит.

● Проверьте, не протекает ли основной вал рамы, и вакуум составного датчика, чтобы определить, протекает ли он.

● Проверьте вакуумный клапан в верхней части вакуумной камеры, чтобы проверить, нет ли утечки.

Если ни один из вышеперечисленных методов не обнаружил зону утечки, необходимо провести обнаружение утечки ацетона, распылить область, где может произойти утечка, проверить точку утечки и решить ее во времени.