Проблемы и решения DLC покрытием
Mar 20, 2018| Свойства покрытия DLC
Производительность DLC находится между алмаз и графит, который показывает, высокой твердостью и отличные трения, как также хорошими антиадгезионными свойствами.
◆ Механические свойства:
Высокая твердость, высокой упругости, высокая теплопроводность, коэффициент низкий коэффициент теплового расширения, низкая плотность, отличной износостойкостью и низкий коэффициент трения.
◆ Электрические свойства:
Низкая энергия сродства к электрону, высокое удельное электрическое сопротивление, низкая диэлектрическая константа
◆ Оптические свойства:
Высокое пропускание в видимый свет и ближней инфракрасной области, запрещенной низкой оптической зоны, преломления — 1,7 до 2,4, порог высокий лазерного разрушения.
◆ Химические свойства:
Хорошее биосовместимость, ультра-высокая химическая инертность, кислоты и щелочи сопротивление, хорошая гидрофобность.
Проблемы и решения DLC покрытием
Проблемы
◆ Высокое внутреннее напряжение
При нормальных обстоятельствах, внутреннего напряжения, модуль упругости и твердость покрытия прямо пропорциональны друг другу, так что чем выше твердость покрытия, тем больше внутренних напряжений. DLC пленка имеет очень высокой твердостью, а также уменьшает высокий внутренний стресс, который делает адгезии DLC пленки к подложке, и Кроме того, он ограничивает максимальную толщину стабильной фильма, которые могут быть зачислены на подложке. Кроме того равномерности толщины пленки также влияет на внутреннее напряжение.
◆ Бедные термическая стабильность
DLC обычно является структурой некристаллических метастабильных фазы. Таким образом во время повышения температуры, покрытие DLC будет графитированные, то есть, sp3 Бонд обратиться к sp2 облигаций, в результате, структура и производительность DLC покрытия будет изменен.
Решения
◆ Многослойная пленка
Осаждения многослойные пленки Ti/ИТК/DLC и Ti/олово/TiCN/DLC на субстрат может значительно снизить внутреннее напряжение между DLC покрытием и субстрата.
◆ Градиент фильм
Депозит градиент переходного слоя Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC и Ti/олово/TiCN/ИТК/Ti-DLC, ионный источник и распыления технологии осаждения на подложке можно эффективно снять стресс и эффективно улучшить прочность скрепления между покрытие и субстрата.
◆ Давать допинг
Легирование неметаллических (N, B, Si) можно снизить внутреннее напряжение DLC покрытием и повысить его термической стабильностью. И легирования металла (Cr, Ti, W) может улучшить твердость и износостойкость покрытия DLC и уменьшить его коэффициент трения.