Принцип и применение источника ионов холла

Принцип и применение источника ионов холла

Принцип работы источника ионов

Тип источника ионов

По ионной энергии делится на:

Высокая энергия 200ev или выше, такая как APS, RF, источник ионов Кауфмана;

Источник ионов Холла ниже низкой энергии 200ev

Разделить по типу:

Тип Кауфмана и тип Холла

Как работают источники ионов

В реальной плотной среде газ, который заполняется в вакуумной камере, удаляется с помощью испускаемых электронов под действием электрического и магнитного полей, а ионы испускаются под действием электрического и магнитного полей.

Принцип структуры ионного источника Холла
Компоненты:
Катод - испускает электроны
Анод - вырабатывает ионы
Газовый тракт - обеспечивает ионизированный газ
Блок питания

Структура холловского источника ионов

Структура источника ионов Кауфмана

Ионная энергия источника ионов:

Расщепленный источник ионов Кауфмана: это напряжение между анодом и сеткой
Источник ионов Холла: 65-70% анодного напряжения

IKS PVD coating IET оборудование для нанесения покрытий, контакт: iks.pvd@foxmail.com