Температура PECVD-подложки

Влияние температуры подложки на качество пленки в основном заключается в плотности локальных состояний, подвижности электронов и оптических свойствах пленки. Повышение температуры подложки способствует компенсации суспензионной связи на поверхности пленки, и плотность дефектов пленки уменьшается.

Температура подложки мало влияет на скорость осаждения, но сильно влияет на качество пленки. Чем выше температура, тем больше плотность осаждаемой пленки, тем выше температура усиливает поверхностную реакцию и улучшает состав пленки.

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытий на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, доступен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, электронная почта: iks.pvd@foxmail.com