PECVD системы управления газом и потоком
Jun 30, 2023| Газоснабжение системы PECVD практически всегда обеспечивается газовыми баллонами, которые размещаются в газовом шкафу с множеством предохранительных устройств и подаются в технологическую камеру PECVD через пульт управления на газовом шкафу и трубопроводы.
При осаждении количество реакционного газа будет влиять на скорость осаждения и его однородность, поэтому необходимо строго контролировать поток газа, а для достижения точного контроля обычно используется массовый расходомер.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытий на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, доступен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, электронная почта: iks.pvd@foxmail.com
