Модель и размер часто используемого фланца CF

На внутренней стороне фланца CF имеется выпуклый острый край, который герметизируется, сжимая безкислородную медную прокладку (или другой мягкий металл), чтобы обеспечить вакуумное уплотнение. Это универсальный метод уплотнения, который широко используется в сверхвысоковольтной вакуумной системе. Фланцы CF также обычно называют фланцами ICF. Число за CF - это стандартный внутренний диаметр катетера, а число за ICF - внешний диаметр фланца. В таблице 1 приведены типы и размеры широко используемых фланцев CF.

Фланец CF разделен на фиксированный тип и свободный тип. Фиксированный фланец имеет встроенную структуру. Фланец с свободным типом состоит из края режущей кромки прессованной медной шайбы и фиксированной части, которая через болт. В фланце можно постучать сквозное отверстие или резьбовое отверстие. Фланец с сквозным отверстием должен быть закреплен болтом и гайкой, а фланец с резьбовым отверстием должен быть зафиксирован с помощью болта. Материал фланца в основном SUS304 (или SUS304L), потому что SUS304 излучает меньше газа и его легко обрабатывать и сваривать.

Таблица 1 Модели и размеры широко используемого фланца CF

Примечание: для n × d n относится к числу отверстий, а d означает отверстие (мм).

Фланцы CF характеризуются как охватывающими, так и женскими, а все части включают в себя бескислородные медные прокладки, изготовленные из металла, поэтому могут выдерживать высокие температуры (выше 250 ° C). Недостатком является то, что цена высокая, а кислородная медная прокладка не может использоваться повторно.

Установка фланца CF

Требования к монтажу фланца CF довольно высоки. Поскольку безкислородная медная прокладка деформируется после сдавливания, очень важно затянуть болт с равной силой. Если болты не равномерно нажимаются, фланцы в противоположных углах будут наклонены так, чтобы система просочилась. Крутящий момент затяжки болта примерно следующий: болт M4 20 кгс · см, болт M6 70 кгс · см, болт M8 100 кгс · см.

Предостережение фланца CF

При использовании фланца CF следует отметить несколько моментов: болт должен быть покрыт MoS2, чтобы предотвратить защелку болта и гайки. Фланец должен быть выровнен по внешней окружности. Поверхность фланца следует держать на расстоянии, чтобы обеспечить возможность дальнейшего затягивания болта после выпекания.

Для фланца CF лезвие должно разрезать на металлическое уплотнение, чтобы обеспечить вакуумное уплотнение. Для долговременного использования лезвие постепенно станет тупым. Кроме того, лезвие восприимчиво к травме после ударов отвердителем. Одним из средств является использование металлического уплотнения IPD. Металлические уплотнения IPD не опираются на край фланца, но полагаются на наклон края ножа для уплотнения.