Обнаружение утечек при высоком, сверхвысоком и сверхвысоком вакууме
Nov 27, 2023| Обнаружение утечек в условиях высокого, сверхвысокого и сверхвысокого вакуума.
Ни одно вакуумное устройство или система не может обеспечить абсолютную вакуумную герметизацию, и в этом нет необходимости. Неоспоримым фактом является то, что скорость утечки должна быть достаточно низкой, чтобы не оказывать чрезмерного влияния на требуемое рабочее давление, газовый баланс и предельное давление в вакуумной камере. Для высокого, сверхвысокого и чрезвычайно высокого вакуума единственным надежным способом обнаружения скорости утечки менее 10-7мбар·л/с является использование течеискателя гелиевого масс-спектрометра. Эквивалентный диаметр отверстия для утечки составляет 10-12мбар·л/с, что также соответствует диаметру молекулы гелия и представляет собой наименьшую скорость утечки, которую можно обнаружить. Эта связь с гелием является одной из причин, по которой гелий используется в качестве индикаторного газа и масс-спектрометров для анализа/измерений, а также одной из причин, по которой этот метод является наиболее точным и быстрым методом обнаружения утечек.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com