Электронно-лучевое испарение

Электронно-лучевое испарение — это использование высокоскоростного нагрева электронным лучом для испарения материала и его конденсации в пленку на поверхности подложки. Плотность энергии источника тепла электронного луча может достигать 104-109 Вт/см2, что может достигать более 3000 градусов, и может испарять металлы с высокой температурой плавления или диэлектрические материалы, такие как вольфрам, молибден, германий, SiO2, AL2O3, и т. д. Испарительный источник нагрева электронным лучом имеет два типа электронных пушек с прямой пушкой и электронную пушку электронного типа (есть также круглые), электронный луч испускается из источник, а катушка магнитного поля используется для фокусировки и отклонения электронного луча, а материал пленки бомбардируется и нагревается. Его преимущества: возможность испарения любого материала, высокая чистота пленки, прямое воздействие на поверхность материала, высокая термическая эффективность. Недостатки Структура электронной пушки сложна, высокая стоимость, осаждение соединений легко разлагается, дисбаланс химических соотношений.

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com