Сравнение смещения постоянного тока и импульсного смещения
Aug 14, 2024| Сравнение смещения постоянного тока и импульсного смещения
Традиционное дуговое ионное покрытие заключается в приложении к подложке отрицательного смещения постоянного тока для контроля энергии ионной бомбардировки. Этот процесс осаждения имеет следующие недостатки: 1. Высокая температура подложки не способствует нанесению твердой пленки на подложку с низкой температурой отпуска. 2. 3. Бомбардировка ионами высокой энергии вызывает серьезное распыление, и твердые пленки с высокой пороговой энергией реакции не могут быть синтезированы просто за счет увеличения энергии бомбардировки ионами. 4. В процессе ионного покрытия дугой смещения постоянного тока для сдерживания чрезмерной температуры подложки, вызванной непрерывной бомбардировкой положительных ионов на поверхности подложки, в основном принимаются такие меры, как снижение мощности осаждения, сокращение времени осаждения и применение прерывистых методов осаждения. для снижения температуры осаждения. Эти меры можно резюмировать как методы контроля энергии. Хотя этот метод может снизить температуру осаждения, он также ухудшает некоторые свойства пленки, а также снижает эффективность производства и стабильность качества пленки, поэтому продвигать его применение сложно. В процессе ионного покрытия с импульсной дугой смещения, поскольку ионы бомбардируют поверхность подложки в прерывистом импульсном режиме, градиент температуры между подложкой и поверхностью можно изменить, регулируя рабочий цикл импульсного смещения, а затем Эффект компенсации теплового выравнивания между подложкой и поверхностью может быть изменен для достижения цели регулирования температуры осаждения. Таким образом, высота смещенного импульса может быть независимо отделена от температуры детали (не влиять друг на друга или иметь незначительное влияние), а импульс высокого напряжения может использоваться для получения эффекта бомбардировки ионами высокой энергии для улучшения Организация и характеристики пленки, а также общий тепловой эффект ионной бомбардировки можно уменьшить за счет уменьшения рабочего цикла для снижения температуры осаждения.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com