Краткое введение системы распыления и управления распылением PVD
Feb 10, 2018| 
Система распыления
Система распыления является основой покрытия PVD, которое состоит из цепей , целевого источника питания и специального газа. Существует много видов целевого источника питания, и они представлены в нескольких вариантах, как показано ниже:
1. В соответствии с режимом выхода , есть источник питания постоянного тока, источник питания переменного тока (синусоидальная волна, прямоугольная волна), импульсный источник питания и постоянный импульсный источник постоянного тока ;
2. Согласно выходной частоте , есть источник питания постоянного тока , низкочастотный источник питания и источник питания средней частоты ;
3. В соответствии с мощностью , есть источники питания с низким энергопотреблением, поставки со средним источником питания, мощное питание и сверхмощное питание;
4. В соответствии с режимом управления есть постоянный источник тока, источник постоянного напряжения и постоянный источник питания.
Система контроля
Система управления - это душа всего устройства, она управляет работой всей системы. Система управления состоит из программной операционной системы, системы сбора данных, системы анализа данных и исполнительной системы передачи и т. Д. Среди них система сбора данных собирает, поток (пар), вакуумное давление, скорость двигателя, положение клапана и другую информацию. Кроме того, программная операционная система и система анализа данных являются ПЛК в большинстве случаев. Кроме того, исполнительная система передачи состоит из различных реле, контакторов, электромагнитных клапанов, переключателей и т. Д.