Основные технические требования к оборудованию для вакуумного покрытия
Jan 19, 2019| Основные технические требования к вакуумной окраске оборудования
IKS PVD, купить вакуумный лакокрасочный станок PVD, свяжитесь с нами сейчас, iks.pvd@foxmail.com
1. Конструкция вакуумных труб и статических уплотняющих частей (фланцев, уплотнительных колец и т. Д.) В оборудовании должна соответствовать положениям GB / T6070.
2, в условиях низкого вакуума и высокого вакуума трубки и вакуумного покрытия комнаты должны быть установлены на вакуумметр, чтобы измерить степень вакуума каждой части. Когда обнаруживается, что электрическое поле создает помехи для измерения, устройство защиты от электрического поля должно быть установлено в измерительном порту.
3. Если основным насосом, используемым оборудованием, является диффузионный насос, на боковой стороне воздухозаборника насоса должна быть установлена ловушка для масляных паров .
4. Комната для нанесения покрытия оборудования должна быть оборудована смотровым окном и дефлектором. Окно наблюдения должно быть в состоянии наблюдать за рабочим состоянием осадочного источника и других ключевых частей.
5, конструкция источника осаждения с ионным осаждением должна быть в максимально возможной степени для улучшения скорости ионизации в процессе нанесения покрытия, улучшения коэффициента использования материалов покрытия, разумного согласования мощности источника осаждения, разумного расположения источника осаждения в вакууме расположение камеры.
6, разумное расположение нагревательного устройства, общая структура нагревателя должна обеспечивать равномерное повышение температуры покрытой металлом заготовки.
7, рама заготовки должна быть изолирована вакуумной камерой, конструкция рамы заготовки должна обеспечивать равномерность пленки заготовки.
8, оборудование ионного покрытия должно, как правило, иметь отрицательное смещение заготовки и источника ионной бомбардировки, источник ионной бомбардировки должен иметь устройство подавления аномального разряда, чтобы поддерживать стабильную работу.
9. Значение сопротивления изоляции между частями вакуумной камеры, соединенными с разными потенциалами, должно соответствовать 4.4.6 в GB / t11164-1999.
10. Другие вопросы, требующие внимания
1) температура окружающей среды: от 10 до 30 oc
2) относительная влажность: не более 750%
3) температура охлаждающей воды на входе не выше 25 оС
4) качество охлаждающей воды, городской водопроводной воды, точнее качество воды.
5) источник питания: 380 В, трехфазный 50 Гц или 220 В, однофазный 50 Гц (в зависимости от потребностей электроприборов); Диапазон колебаний напряжения: 342-399 В или 198-231 В; Диапазон колебаний частоты: 49-51 Гц.
6) давление, температура и расход сжатого воздуха, жидкого азота, холодной воды и горячей воды и т. Д., Требуемые оборудованием, должны быть указаны в руководстве по эксплуатации изделия.
7) среда вокруг оборудования должна быть чистой, а воздух - чистым. Пыль или газ, которые вызывают коррозию на поверхности электрических приборов и других металлических частей или вызывают интерметаллическую проводимость, не должны существовать.