Безмасляная система сверхвысокого вакуума с ионным насосом

Безмасляная система сверхвысокого вакуума с ионным насосом
На рисунке 5-15 показана концептуальная диаграмма системы. Ионный насос распыления является основным насосом, а в качестве насосов предварительной откачки используются два насоса с молекулярными ситами, один из которых используется для удаления газа под атмосферным давлением в вакуумной камере и ионном насосе распыления, а другой используется для удаления газа под атмосферным давлением в вакуумной камере и ионном насосе распыления. удалить газ, выделяющийся при запуске обжига и ионного насоса.

▲ Рисунок 5-15 Безмасляная система сверхвысокого вакуума с ионным распылением: 1-вакуумная камера 2-вакуумметр BA 3- клапан сверхвысокого вакуума 4- ultra -задвижка высокого вакуума 5-ионный насос распыления 6- клапан высокого вакуума 7- насос молекулярного сита 8- вакуумметр термопары

Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com