Система высокого вакуума
Oct 25, 2023| Система высокого вакуума
Широко используется система высокого вакуума, диапазон ее рабочего давления обычно составляет 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Па. Распространенными насосными системами являются:
(1) Вакуумная система с механическим насосом серии диффузионных насосов. Как показано на рисунке 5-2, эта система может обеспечить вакуум 10-2 ~ 10-5Па, который обычно используется в прикладном оборудовании с относительно небольшим количеством выхлопных газов во время работы. Преимущества системы заключаются в простой конструкции, надежности работы и низкой стоимости. Недостатком является то, что система запускается медленно, а время предварительной прорисовки велико. Масляные пары диффузионного насоса легко перетекают обратно в вакуумную камеру.
(2) масляный подкачивающий насос серии диффузионных насосов, а затем вакуумная система серии механических насосов. Система имеет короткое время предварительного розыгрыша, но медленный старт.
(3) насос Рутса серии диффузионного насоса, а затем вакуумная система серии механического насоса. Запускается медленно, но время предварительной накачки короткое.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com