Производительность и преимущества турбинного молекулярного насоса

Турбомолекулярный насос - это использование высокоскоростного вращения движущегося рабочего колеса для передачи импульса молекулам газа, генерируемого газом направленного потока вакуумного насоса . Турбомолекулярный насос в основном состоит из корпуса насоса, ротора с лопастью (т. Е. Движущегося рабочего колеса), статического рабочего колеса и системы привода.

преимущество

В качестве турбомолекулярного насоса в некоторых аспектах он лучше, чем производительность криогенного насоса, ионного насоса и диффузионного насоса. Поэтому в общем случае больше использования турбонасосов.

(1) Чистый, безмасляный паровой рефлюкс

Турбо-молекулярный насос может работать без каких-либо скважин и работать в соответствии с правилами эксплуатации, которые могут обеспечить чистую вакуумную среду для перекачиваемого контейнера и не содержат углеводородов.

(2) Удобно использовать

Во многих применениях турбонасосы могут не нуждаться в высоковакуумных клапанах или грубых вакуумных клапанах. Просто нажмите кнопку, насос может начать работать, от атмосферного давления можно уменьшить до максимального давления. Система может быть грубо накачана турбомолекулярными насосами и может быть ускорена до рабочей скорости. Это устраняет необходимость в клапанах, трубах, ловушках, клапанах и других вакуумных компонентах. Это также устраняет отказ этих компонентов.

(3) Сильный потенциал транспортировки газа

Большинство турбомолекулярных насосов обладают высокой способностью поставлять легкие газы, такие как водород и гелий, что делает их идеальными для технологических операций в сверхвысоком вакууме. Турбомолекулярный насос, специально предназначенный для удаления коррозионных газов, подходит для травления, реактивного ионного травления, обработки ионным пучком, химического осаждения из паровой фазы низкого давления, эпитаксии и ионной имплантации. Во время процессов эвакуированный газ может разъедать криогенные насосы, ионные насосы, масло для диффузионного насоса и даже разрушить стандартные незащищенные турбомолекулярные насосы. Поскольку турбомолекулярный насос относится к трансмиссионному насосу, накачиваемый газ не накапливается в насосе, поэтому он подходит для процесса высокой газовой нагрузки.

(4) Подходит для ультравысоких вакуумных применений

Хороший турбомолекулярный насос для уплотнения и дегазации оснащен двухступенчатым роторным насосом с хорошей производительностью (или такой же сухой сухой насос). Конечный вакуум может достигать 10-9-10-10 Торр (133,3 до 13,33 нПа). Если турбомолекулярный насос подключен к другому турбомолекулярному насосу с использованием металлически уплотненного и хорошо дегазированного насоса, его предельное давление обычно составляет от 1 × 10 ^-10 до 1 × 10 ^-11 торр (от 13,33 до 1,333 нПа) между ними. В отличие от криогенных насосов или ионных насосов, турбомолекулярные насосы работают при полной скорости откачки в условиях сверхвысокого вакуума.

(5) Хорошая производительность при высоком давлении

Входное давление некоторых турбомолекулярных насосов может находиться между 10 ^-1 и 10 ^-3 торр (13,33 Па до 133,3 мПа). В этом диапазоне давлений ионный насос не может использоваться, поскольку криогенному насосу необходимо дросселировать скорость откачки или регулярную регенерацию, а работа диффузионного насоса станет неустойчивой.

(6) Время короткого цикла

Большинство турбомолекулярных насосов, особенно небольших, обычно требуется 1 ~ 3 мин для достижения нормальной скорости движения. Насосы для разных типов и моделей отличаются и могут быть немедленно отключены и могут подвергаться воздействию атмосферы.

(7) Нормальное использование в течение длительного времени

В некоторых приложениях нормальное время использования турбомолекулярного насоса выше, чем у других насосов. Из-за тяжелой газовой нагрузки и утечки клапана может вызвать частой перегрев криогенного насоса или периодический регенерационный насос или ионный насос, а также турбомолекулярный насос может быть использован для устранения загрязнения маслом насоса в вакуумной камере.