Часть покрытия оборудования

Современное оборудование для нанесения покрытий состоит в основном из вакуумной камеры, части для сбора вакуума, части измерения вакуума, части электропитания, системы ввода технологического газа, части механической трансмиссии, блока измерения нагрева и температуры, ионного испарения или источника распыления и системы водяного охлаждения.

1. Вакуумная камера

Оборудование для нанесения покрытий в основном имеет линию непрерывного нанесения покрытия и однокамерную машину для нанесения покрытия в двух формах, поскольку покрытие из плесени имеет более высокие требования к деталям нагрева и механической трансмиссии, а форма формы, размер варьируется в широких пределах, непрерывная линия по производству покрытий обычно сложна для удовлетворения требований, для использования однокамерной машины для нанесения покрытий.

2. Вакуумная часть

Из-за высоких требований к адгезии покрытия деталей пресс-формы процесс покрытия перед фоновым вакуумом предпочтительно превышает 6 мПа, а степень вакуума может достигать 0,06 мПа или более после завершения процесса нанесения покрытия, так что вакуум выбирается чтобы достичь высокой степени вакуума.

До сих пор нет такого насоса, который может работать от атмосферного давления до близкого к ультравысокому вакууму. Таким образом, приобретение вакуума не является вакуумным оборудованием и способ может быть достигнут, его необходимо объединить с несколькими насосами, такими как механический насос, молекулярная насосная система и т. Д.

3. Вакуумная измерительная деталь

Вакуумная часть вакуумной системы предназначена для измерения давления в вакуумной камере. Как вакуумный насос, вакуумметр не может измерить весь диапазон вакуума, и многие виды вакуумных датчиков изготавливаются в соответствии с различными принципами и требованиями.

4. Блок питания

Целевой источник питания в основном включает в себя источник питания постоянного тока и источник питания промежуточной частоты; самой заготовке обычно требуется источник постоянного тока, импульсный источник питания или радиочастотный источник питания.

5. Система ввода технологического газа

Технологический газ, такой как аргон (Ar), криптон (Kr), азот (N ₂ ), ацетилен (C ₂ H ₂ ), метан (CH ₄ ), водород (H ₂ ) и кислород (O ₂ ), как правило, поставляются газовым баллоном, а затем проходят в вакуумную камеру через клапан снижения давления газа, шаровой клапан, трубу, газовый расходомер, пьезоэлектрический клапан, электромагнитный клапан.

Преимущество этой системы ввода газа заключается в том, что трубопровод прост, легкий и прост в ремонте или замене цилиндра. Каждая машина для нанесения покрытия не влияет друг на друга, а также имеется ряд машин для нанесения покрытий, в которых используется группа цилиндров, которые могут использоваться в некоторых крупных цехах для покрытия. Он имеет преимущества уменьшения количества газового баллона, унифицированного планирования, унифицированной компоновки, а недостатком является то, что вероятность утечки газа увеличивается из-за увеличения сустава.

Каждая машина для нанесения покрытий будет мешать друг другу, и утечка машины для нанесения покрытия может повлиять на качество других машин для нанесения покрытий. Кроме того, при замене цилиндра необходимо обеспечить, чтобы все основные блоки не использовались.

6. Механическая передача

Покрытие инструмента требует равномерной толщины вокруг, поэтому в процессе покрытия должно быть три поворота для соответствия требованиям. То есть, в то время как большой стол заготовки необходим для вращения, маленький стол заготовки также вращается, и сама заготовка может вращаться одновременно. В механическом дизайне центральная часть поворотного стола обычно представляет собой большую активную шестерню, которая окружена небольшим звездообразным колесом, а затем вилка используется для поворота заготовки для вращения.

7. Блок измерения температуры и температуры

Когда процесс нанесения формы, чтобы обеспечить равномерное нагревание обрабатываемой детали, гораздо важнее, чем нагревание декоративного покрытия. Оборудование для нанесения покрытий обычно имеет два нагревателя, измерение температуры термопары и контроль. Из-за термопары для разных настроек показания температуры не могут быть истинной температурой заготовки. Для измерения истинной температуры заготовки можно использовать поверхностный термометр (поверхностный термометр). Принцип работы термометра заключается в том, что при нагреве термометра дно пружины будет нагреваться для расширения, так что указатель будет способствовать вращению указателя позиционирования до максимальной температуры. При охлаждении пружина сжимается, и указатель поворачивается в обратном направлении, но указатель позиционирования остается на самой высокой температуре, и температура указателя считывается после открытия двери вакуумной камеры при нагревании вакуумной камеры, местоположения поверхностного термометра достиг максимального значения температуры.

8. Ионное испарение или источник распыления

Многослойное дутьевание испарителя, как правило, круговое, обычно известное как цель круглого торта, в последние годы было много прямоугольной многодуговой цели, но никакого очевидного эффекта. Цель круглого торта установлена на медном седле мишени (сиденье катода), оба из которых соединены ребрами. Целевое сиденье оснащено магнитом, перемещая магнит назад и вперед, изменяя напряженность магнитного поля, регулируемую скорость движения и скорость траектории. Чтобы уменьшить температуру мишени и держателя мишени, охлаждающую воду следует непрерывно подавать на держатель мишени. Чтобы обеспечить высокую проводимость и теплопроводность между мишенью и держателем мишени, прокладка олова (Sn) может быть добавлена между мишенью и мишенью.

9. Система водяного охлаждения

Чтобы увеличить скорость ионизации атомов металла, каждая катодная мишень выводится с большой мощностью и поэтому нуждается в достаточном охлаждении. Многие виды покрытия форм, температура нагрева составляет 400 ~ 500 ℃ поэтому на стенке вакуумной камеры также очень важно охлаждение уплотняющей поверхности, поэтому охлаждающую воду лучше всего использовать в водяном чиллере около 18 ~ 20 ℃.

После того, как дверь была открыта, чтобы предотвратить стенку вакуумной камеры низкой температуры, осаждение катодной мишени и контакт с горячим воздухом с водой, откройте дверь в первые 10 минут, система охлаждения должна перейти в состояние горячей воды, горячей воды температура составляет около 40 ~ 45 ℃.