Внутренние напряжения и измерение вакуума покрытие PVD
Mar 24, 2018| 1. стресс введение
Когда объект деформируются из-за внешних причин (стресс, влажность и т.д.), внутренние силы взаимодействия между частями объекта сопротивляться последствия этого внешнего фактора, и восстановить объект из положения после деформации в позиции перед деформации. Силы внутренней области в точке сечения называется стресс. Нормальное напряжение перпендикулярно поперечного сечения, и напряжение сдвига является касательной к поперечного сечения. Стресса будет возрастать по мере увеличения внешних сил. Существует предел роста стресса для конкретного материала, и выше этого предела, материал будет уничтожен.
Для некоторых материалов, стресс может достигать это ограничение называется конечной стресс материалов. Значение конечной стресс определяется механические испытания материала. Измерения силы должно быть целесообразно уменьшить лимит, максимально подчеркнуть материал, способный заранее безопасности, который является допустимых напряжений. Если материал используется для быть безопасно, стресс внутри его использование должно быть меньше, чем его стресс предел, в противном случае материал будет поврежден, когда он используется.
Существует своего рода стресс называется внутреннее напряжение, то есть, когда нет внешних силы, внутреннее напряжение в объекте внутренних напряжений. И есть внутренние напряжения в PVD покрытием. Повреждение внутреннего напряжения очень велик, поэтому размер и степень внутреннего напряжения должны быть хорошо освоил в производстве. PVD-покрытия в основном используется как износостойкие защитные покрытия, который требует определенной толщины и срок службы, но внутренних напряжений в покрытии ограничивает толщины покрытия. Если упругая энергия единицу объема производимых внутреннее напряжение превышает перелом энергии на единицу площади, покрытие будет падать, поэтому толщина покрытия на хранение ограничено. В целом внутреннего напряжения, модуль упругости и твердость покрытия пропорциональны друг другу. Таким образом в процессе производства, стресс покрытия, особенно внутренних напряжений, должны контролироваться процесса осаждения ионно. После покрытия, внутренние напряжения покрытие должно быть обнаружено, так что он может быть принято в допустимых пределах.
2. метод стресс-тест
(1) дифракции рентгеновских и электронов
Когда покрытие находится в состоянии стресса, решетка будет искажать, и постоянная решётки будет изменен. Таким образом изменение ширины линии дифракционной решетки константа может быть измерен дифракции рентгеновских и электронов. Стресса покрытия могут быть рассчитаны по определенной формуле.
(2 анализ деформации образца
Один конец очень тонкие прямоугольные стекла кусок фиксированной в вакуумной камере покрытие аппарата и затем наносится на одной поверхности листа. Покрытие стресс вызывает деформации свободного конца листа и листа измеряется с телеобъективом измерительный микроскоп. Количество перемещения на свободный конец затем рассчитываются на основе механических формула материала.
(3 оптической интерферометрии
С помощью оптической интерферометрии для измерения покрытия стресс интерференционных полос между стандартной плиты и не покрытые субстрат в интерферометр и затем покрытием на подложке из-за покрытия эффект стресса, деформация поверхности субстрата, затем измерения интерференционных полос образуются между стандартной плиты и покрытием субстрат в интерферометр, на основе изменений полосы интерференции, рассчитать стресс покрытие с помощью формул материала механики.
Для более чем десяти лет,ИКСспециализируясь во всех видах вакуумные покрытия применения оборудования для производства, посвященная исследований и разработок и производства машины вакуумные покрытия, с применением новейших технологий постоянно продукты отвечают потребностям рынка, вакуумные покрытия оборудования , предоставляя клиентам индивидуальные технологические решения и оборудование