Каков специфический процесс накопления яркости в принципе распыления магнетрона Как ионизирован газ Ar
Apr 22, 2020| Каков конкретный процесс накопления яркости в принципе распыления магнетрона? Как ионизирован газ Ar?
Под действием прикладного напряжения между положительными и отрицательными электродами атомы газа между электродами будут ионизированы. В процессе ионизации некоторые атомы Ar ионизуются в ионы и электроны Ара. Электроны ускоряются к аноду электрическим полем, а положительно заряженные ионы Ара ускоряются к катодной цели под действием электрического поля и высвобождают соответствующую энергию при столкновении с поверхностью цели. Одним из результатов воздействия ионов с определенной энергией на цель является то, что атомы на поверхности цели получают определенную энергию и покидают поверхность цели, чтобы двигаться к субстрату. В процессе распыления, Есть другие частицы микрохола, в том числе вторичного выброса электрона из катода.
Это газовый разряд, и напряжение, как правило, в верхних киловольтах. Но распыление магнетрона отличается,
Во время распыления магнетрона на поверхности цели находится магнитное поле, поэтому электроны могут быть связаны вокруг цели, не будучи потерянными, образуя самоподдерживающееся явление разряда, и напряжение естественным образом уменьшается до нескольких сотен вольт. Во время автономного разряда большая часть ионизации аргона вызвана бомбардировкой свободных электронов.
электронная - аар-аре 2e-
Если вам интересно тип покрытия для защиты окружающей среды, свяжитесь с нами сейчас, по электронной почте:iks.pvd@foxmail.com,более подробная информация о производстве вакуумного покрытия PVD-IKS PVD Technology (Шэньян) Co., Ltd