Видео расшифровывает принцип работы молекулярного насоса
Aug 06, 2019| Видео расшифровывает принцип работы молекулярного насоса
https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html
Как работают молекулярные насосы?
Принцип работы:
Механизм насоса молекулярного насоса отличается от механизма механического насоса, который зависит от изменения объема камеры насоса для извлечения воздуха.
Молекулярный насос приводится во вращение двигателем с высокой скоростью. В области молекулярного потока молекулы газа сталкиваются с поверхностью высокоскоростной лопасти, и импульс передается молекулам газа, так что некоторые молекулы газа движутся в направлении поверхности твердого тела и выталкиваются из насоса , для достижения цели вытяжки воздуха. Обычно с высокоскоростным движением поверхности твердого тела переносят молекулы газа и заставляют его двигаться в определенном направлении явления, известного как явление молекулярной тяги, используя это явление, сделанное вакуумным насосом, известным как тяговый молекулярный насос (гад насос). Преимущество тягового молекулярного насоса заключается в том, что время запуска короткое, в состоянии молекулярного потока, обладающего высокой степенью сжатия, можно удалять все виды газов и паров, особенно подходящих для извлечения более тяжелых газов. Тем не менее, поскольку скорость накачки тягового молекулярного насоса мала, зазор уплотнения слишком мал, надежность работы низкая, легко механическая поломка и производственные трудности, фактически, редко используемые. Позже, тяговый молекулярный насос был улучшен, и появился турбомолекулярный насос.
Турбомолекулярный насос содержит несколько групп чередующихся лопастей ротора и неподвижных лопастей ротора, и на каждой лопасти имеется множество наклонных лопастей под определенным углом, как показано на фиг. 1. Настоящий турбомолекулярный насос состоит из многоступенчатого каскада, а именно, исполнительный нож, неподвижный нож и подвижный нож расположены поочередно. Движущиеся лопасти действуют как лопасти электрического вентилятора, когда они вращаются, перекачивая газ с одной стороны на другую. Увеличение скорости молекулярного насоса выгодно для улучшения скорости накачки молекулярного насоса. Из-за ограничения скорости лопасти, если молекулы газа движутся быстрее, вакуум труднее накачивать.
Видно, что турбомолекулярный насос также является своего рода механическим вакуумным насосом. Комбинация высокоскоростных вращающихся многоступенчатых лопастей ротора турбины и статических лопастей используется для отвода воздуха, что обеспечивает высокую степень сжатия для извлеченного газа в области молекулярного потока, чтобы получить требуемые характеристики вакуума. Предельный вакуум турбомолекулярного насоса выше, чем у диффузионного насоса, до 10 ^ -8 Па. При нормальной работе требуется определенный уровень вакуума на передней ступени, который незначительно варьируется в зависимости от насоса, обычно в пределах от 1 до 200 Па. Механический насос может использоваться в качестве насоса передней ступени. Блок высокого вакуума состоит из молекулярного насоса и механического насоса. Из-за высокой скорости турбомолекулярного насоса он обычно приводится в действие двигателем if и частотой источника питания if между 300-400 Гц. Турбомолекулярные насосы обычно охлаждаются водой.
Составной молекулярный насос представляет собой последовательную комбинацию турбомолекулярного насоса и тягового молекулярного насоса, который сочетает в себе преимущества двух типов насосов в одном и может работать в широком диапазоне давлений 10 ^ -6-1pa с большей скоростью откачки. и более высокая степень сжатия, что значительно улучшает давление на выходе насоса.
условия эксплуатации :
(1) скорость вращения ротора достигает 20000 об / мин, поэтому время запуска молекулярного насоса относительно велико.
(2) газ находится в состоянии молекулярного потока, поэтому его необходимо оборудовать насосом передней ступени. Как правило, лопастной насос используется в качестве насоса передней ступени.
Особенности молекулярного насоса:
Масляная смазка молекулярного насоса: количество смазочного масла невелико, а в вакуумной секции предыдущей ступени загрязнение вакуумной камеры невелико.
Смазка для смазки молекулярного насоса: количество смазки очень мало, предварительный сухой насос может получить чистый вакуум почти без масла.
Молекулярный насос с полной магнитной подвеской: не требует смазки, может использоваться с сухим насосом, чистой вакуумной средой без масла.
Другие распространенные приложения:
1. Анализ (масс-спектрометрия, электронный микроскоп и др.)
2. Полупроводники (электронные компоненты, интегральные схемы, гибкие солнечные элементы и т. Д.)
3. Оптика / стекло (термозащита, антиотражение, отражение, оптический фильтр)
4. Покрытие (защита поверхности, декоративная краска, дисплей, экран)
5. Вакуумная металлургия (вакуумная печь, вакуумная пайка, вакуумное спекание, вакуумный сплав,)
6. Обнаружение утечки (вакуумная система, топливный бак автомобиля, подушка безопасности)
7. Исследовательские эксперименты (медицинская магнитно-резонансная томография, физика ядерных частиц, исследования термоядерного синтеза, лазерные применения и многое другое).
8. Ламповая промышленность и смежные отрасли
Машина для нанесения покрытия IKS PVD использует турбомолекулярный насос с магнитной левитацией. Свяжитесь с нами сейчас, чтобы узнать больше о вакуумной лакировочной машине PVD, iks.pvd @ foxmail.com
