Насосный агрегат сверхвысокого вакуума
Oct 13, 2023| Насосный агрегат сверхвысокого вакуума
Установка сверхвысокого вакуума работает в диапазоне давления сверхвысокого вакуума 10-6 ~ 10-10Па, помимо требования, чтобы материал вакуумной камеры имел очень низкую скорость выхода газа, очень небольшая скорость утечки газа и выдерживает высокую температуру выпечки 200 ~ 450 градусов. Требования к устройству также включают:
(1) предельная степень вакуума основного насоса должна быть высокой, не менее 10-7 ~ 10-8Па и выше;
(2) Главный насос имеет определенную скорость откачки в диапазоне рабочего давления сверхвысокого вакуума;
(3) Главный насос агрегата или часть над воздухозаборником главного насоса выдерживают высокую температуру от 200 до 450 градусов;
(4) Парциальное давление обратного газа (включая пары рабочей жидкости и разделенный газ) в автономном насосе должно быть достаточно низким;
(5) Главный насос с высокой селективностью перекачиваемого газа должен быть оснащен достаточно мощным вспомогательным насосом;
(6) Трубопроводы, клапаны и другие компоненты над впускным отверстием главного насоса агрегата; при выборе и герметизации материалов следует соблюдать особую осторожность. Обычно используется нержавеющая сталь с низким расходом газа и металлической структурой уплотнений и уплотнительными материалами.
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытия на инструменты, машина для нанесения покрытия DLC, машина для нанесения оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, возможен проект под ключ. Свяжитесь с нами сейчас, адрес электронной почты: iks.pvd@foxmail.com