два типа распыления покрытий
Aug 15, 2020| два типа распыления покрытий
Один из них называется ионный луч распыления, который относится к бомбардировке поверхности цели с ионной балки в вакуумном состоянии, так что распыленные частицы могут образовывать пленку на поверхности матрицы. Этот процесс является относительно дорогостоящим и в основном используется для производства специальных фильмов. Другой называется катод распыления, который в основном использует явление низкого давления газа разряда, чтобы ионы в плазменной бомбардировки целевой поверхности и осаждения распыления частиц на матрице. Он принимает структуру параллельного электрода пластины, большой области мишенью из мембранного материала является катод, субстрат, поддерживающий матрицу является анодом, и он установлен в сосуде вакуумной банки колокола. Чтобы уменьшить загрязнение, давление внутри банки колокола сначала перекачивается до менее чем L0-3 и 10-4pA, а затем заполнены с Ar для поддержания давления на L й 10Pa. Распыление покрытие выполняется путем добавления тысяч вольт между полюсами.
По сравнению с осаждением испарения, распыление осаждения не имеет фазовых изменений в целевом материале (пленочебном материале), состав соединения стабилен, а сплав не легко дотлать, поэтому пленооного материала, пригодного для приготовления, очень широк. Так как энергия частиц, отложенных на субстрате при распылении, в 50 раз выше, чем энергия испарения, они оказывают очищающее и нагревательное действие на субстрат, поэтому пленка имеет сильную прилипание. В частности, распыление покрытия легко контролировать состав пленки. Путем прямого распыления или реактивного распыления, различные пленки сплава, сложные пленки, многослойные пленки и составные пленки с большой площадью можно подготовить равномерно. Распыляющее покрытие легко реализовать непрерывное, автоматическое производство и масштабирование. Однако, из-за использования высокого напряжения и газа во время распыления, устройство является относительно сложным, и пленка легко зависит от распыления атмосферы, и скорость осаждения пленки также низка. Кроме того, распыление покрытия требует подготовки различных компонентов цели, целевой показатель погрузки и разгрузки не удобен, целевой коэффициент использования не высок.
IKS PVD компания, декоративная машина покрытия, инструменты покрытие машины, оптическое покрытие махцин, PVD вакуумной линии кроватки. Свяжитесь с нами сейчас, электронная почта: iks.pvd@foxmail.com
