Рабочий принцип молекулярный насос

Насосных механизм молекулярный насос отличается отмеханический насоснакачивается, изменение объема полости насоса, использование принципа передачи импульса, молекулярной ориентации поток наружу насос, с тем чтобы достичь цель накачки.

Молекулярные вакуумный насос является использование высокоскоростного вращающегося ротора для передачи энергии молекулы газа, таким образом, что делает его сжатия и эвакуации. Оно имеет следующие типы:

Тяговые молекулярный насос:Молекулы газа и высокоскоростной ротор столкновения получить импульс, который отправляется к выходу, таким образом, это импульс Перекачивающий насос.

Турбо молекулярный насос: Насос дома желобчатых дисков или лезвиями ротора, который вращается между статором дисков (или статоры). Окружная скорость ротора очень высока. Этот вид насоса обычно работает в государстве молекулярной потока.

Составные молекулярный насос:Это соединение молекулярных вакуумный насос, который является сочетание серии с turbo типом и типом тяги.

Молекулярный насос вращается с высокой скоростью под привод двигателя и использует силу преобразования частоты для привода двигателя, и цель заключается в том, чтобы получить более высокую скорость. В области молекулярной потока, молекулы газа сталкиваются с поверхности лезвия, вращающихся с высокой скоростью, и импульс передается молекулы газа, таким образом, что частичная газовых молекул для создания направленного потока на поверхности твердого тела и изгнали насос для достижения цели добычи газа. Обычно с высокоскоростным движения твердого тела поверхности молекулы газа и заставить его двигаться в определенном направлении называется явление молекулярной тяги, используя это явление из вакуумного насоса, называется тяги молекулярный насос.

Преимущество тяговых молекулярный насос является коротких начать-время, высокая степень сжатия в государстве, молекулярные потока и можно удалить все виды газов и паров и особенно подходит для перекачки тяжелых газов. Однако из-за небольшой скорость откачивания молекулярный насос тяги, небольшие уплотнения Распродажа, надежности работы, легко механических повреждений и сложные производства, на самом деле это используется редко. Позже была улучшена молекулярный насос тяги, и появилась турбо молекулярный насос.

Есть несколько групп межфазной тяги колеса лопатки и лопасти фиксированных колеса в турбо молекулярный насос, и есть много лопатки на каждом колесе, которые наклонены под определенным углом. Фактической турбо молекулярный насос состоит из расположения каскадом лезвие в несколько этапов, с точки зрения пластины ротора, статора пластины, пластины ротора следуют переменного договоренности, похож на эффект электровентилятора лезвие вращающегося ножа и может перекачивать газ от одной стороны к другой стороне. Повышение скорости молекулярный насос является полезным для улучшения скорость откачивания молекулярный насос. Из-за ограничения поворота скорость лезвия это более трудно насос вакуум, если молекулы газа двигаться быстрее.

Турбо молекулярный насос является также Механический вакуумный насос, который закачивается через сочетание высокоскоростной вращающийся ротор многоступенчатый турбинных лопаток и стационарных лопаток. Она производит высокий коэффициент сжатия для извлечения газа в области молекулярной потока, с тем чтобы достичь желаемой производительности вакуумного. Предельный вакуум турбо молекулярный насос является выше, чем диффузионного насоса, до 10-8 ПА. Нормальной работы требует определенной степени предварительного вакуума. Его уровень вакуума слегка варьируется в зависимости от насоса. Это, как правило, между 1-200pa, и механический насос может использоваться как передние насос. Из-за высокой скорости турбо молекулярный насос, как правило, обусловлен если двигатель и если частота питания между 300-400 Гц.

Водяное охлаждение обычно используется втурбо молекулярный насос.

Всоставные молекулярный насоспредставляет собой сочетание серии турбо молекулярный насос и тяговые молекулярный насос. Он объединяет преимущества двух насосов и большая скорость откачивания и высокий коэффициент сжатия в диапазоне широкий давления 10^-6~ 1ПА, что значительно повышает давление на выходе насоса.