Безмасляная система сверхвысокого вакуума распылительного ионного насоса
Aug 28, 2021| Безмасляная сверхвысоковакуумная система распылительного ионного насоса
Ионный насос для распыления является основным насосом, а два насоса с молекулярными ситами используются в качестве насоса предварительной откачки. Один насос молекулярного сита используется для удаления газа под атмосферным давлением в вакуумной камере и распылительном ионном насосе, а другой используется для удаления газа, выделяющегося при запуске обжигового и ионного насоса.
система ионного распыления
1.Вакуумная камера 2. Вакуумметр3. клапан сверхвысокого вакуума 4. запорный клапан сверхвысокого вакуума 5. распыляющий ионный насос 6. клапан высокого вакуума 7. насос молекулярного сита 8.Вакуумметр с термопарой
Компания IKS PVD, машина для нанесения декоративного покрытия, машина для нанесения покрытий на инструменты, машина для оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD, доступен проект под ключ.Свяжитесь с нами сейчас, E-mail:iks.pvd@foxmail.com