Характеристики вакуумного измерения

1. Диапазон измерения давления: 10 ⁵ ~ 10 ^-14 Па.

2. Большая часть вакуумметра является косвенным измерением, и сила площади единицы измерения может измеряться непосредственно, только когда давление составляет от 10 ⁵ до 10 Па. Однако большинство измерений давления в вакууме невелики, чем указано выше, не могут быть измерены непосредственно, для использования косвенных измерений следует использовать некоторые характеристики газа под низким давлением (такие как теплопроводность, вязкость и ионизация и т. Д.).

3. Неэлектрическая технология измерения принимается. Из-за неэлектрической измерительной техники с высокой чувствительностью можно добиться быстрого реагирования, автоматического и дальнего измерения, используя большую часть вакуумметра. Электронный вакуумный манометр состоит из двух частей вакуумметра и электронной измерительной цепи (блок управления и индикатора). Манометр является чувствительным элементом. Он преобразует давление газа неэлектрической величины в электрический сигнал, используя некоторые характеристики газа при низком давлении, а затем усиливает и отображает выходной электрический сигнал датчика по измерительной цепи. При необходимости выходной сигнал отправляется на автомагнитолу и автоматическое оборудование для автоматизации вакуумного оборудования. Требования для преобразования неэлектрического давления в электрический заряд предоставляются блоком управления измерительной схемы.

4. Показания некоторых вакуумных датчиков связаны с типом и составом газа. Поэтому измерение должно уделять особое внимание типу и составу газа при измерении; в противном случае это приведет к большой ошибке.

5. Точность измерения невелика. В процессе косвенного измерения давления часто требуется дополнительная энергия. Внешняя энергия может быть тепловой энергией, электрической энергией, механической энергией и радиологической энергией. Таким образом, ошибка измерения неизбежно вводится одновременно с введением прикладной энергии. Поэтому точность вакуумного измерительного прибора ниже, чем у других физических измерительных приборов.