Подбор вакуумметрического оборудования в различных вакуумных диапазонах
Feb 21, 2020| Подбор вакуумметрического оборудования в различных вакуумных диапазонах
вакуумный диапазон | Вакуумметр | другие |
Грубый вакуум | Применение в общем вакууме, вакуумный манометр пружинного типа (механический датчик упругой деформации) | В то же время при измерении от грубого вакуума до низкого вакуума можно использовать вакуумметр мембранного типа, вакуумметр емкостного типа и вакуумметр с радиоактивной ионизацией. |
101325-1000Pa | Коррозионный газ, емкостный пленочный датчик | |
Прецизионные измерения, вакуумметр U-типа | ||
Низкий вакуум | Только для приблизительной индикации | |
1000-0.1Pa | В общем, термопара или резистивный вакуумметр | |
Прецизионное измерение, вакуумметр компрессионного типа или тонкопленочный вакуумметр емкостного типа | ||
высокий вакуум | Основное использование ионизационного вакуумметра | |
10 -1 -10 -6 Па | Компрессионный вакуумметр | В то же время требуется измерение низкого и высокого вакуума, составного вакуумметра (комбинация ионизационного вакуумметра и вакуумметра с термопарой) или ионизационного вакуумметра высокого давления. |
Ионизирующий вакуумный манометр с холодным катодом для вакуумного оборудования с большой разрядной емкостью и случаев с низкими требованиями | ||
сверхвысокий вакуум (UHV) | ВА Тип ионизационный вакуумметр | От измерения низкого вакуума до сверхвысокого вакуума, широкого диапазона сверхвысокого вакуумметра или композитного сверхвысокого вакуума |
10 -6 -10 -10 Па | Магнитный вакуумный манометр с холодным катодом | |
очень высокий вакуум (XHV) ·
| Магнитный вакуумный манометр с холодным катодом | |
Под 10 -10 Па | Магнитный вакуум-манометр с горячим катодом | |
Улучшенный ба ионизационный вакуумметр |
Вакуумная окрасочная машина IKS PVD, свяжитесь с нами сейчас. E-mail: iks.pvd@foxmail.com
