Анализ кривой падения давления - Определите, существует ли реальная утечка в вакуумной системе
Mar 26, 2025| Анализ кривой падения давления - Определите, существует ли реальная утечка в вакуумной системе
Исторические данные вакуумной системы являются одним из наиболее ценных инструментов для понимания производительности крупных вакуумных систем, опытные техники будут тщательно сохранять исторические данные, сравнивая кривую текущего падения давления с предыдущим циклом, когда система находится в хорошем состоянии, может быстро определить причину проблемы. Например, глядя на кривую падения давления, показанную на рисунке ниже, вы можете определить, есть ли утечка. Условия процесса при условии неизменного и вакуумного насоса, работающего нормально, если существует реальная утечка, утечка извне в камеру газа вызовет, чем нормальное падение давления в полости, чтобы ограничить положение давления на высокой стороне, когда она больше не падает или падает очень медленно, кривая падения давления аналогично вышеупомянутой кривой. Стученная или виртуальная утечка существует, газ медленно выпускается, а ставка воздуха все более и меньше. Система может достичь исходного давления ограничения по времени, но она ограничивается значительно медленнее, но кривая падения давления аналогична середине, которая эта кривая.
IKS PVD Company, Декоративная машина для покрытия, инструментальная машина для покрытия DLC, машина для оптического покрытия, линия вакуумного покрытия PVD и проект с ключом. Свяжитесь с нами сейчас, электронная почта: iks.pvd@foxmail.com