Меры предосторожности для вакуумной накачки

▲ Как повысить скорость откачки машины вакуумного покрытия?

1. Если в первый раз использовать машину для вакуумного покрытия, ее можно нагревать при прокачке (обычно около 200 ° C) в течение 1-2 часов для удаления водяного пара и насадок.

2. Перед нанесением необходимо полностью высушить продукт.

3. Если машина вакуумного покрытия использовалась в течение длительного времени, а скорость вакуумной прокачки замедлилась, необходимо заменить защитный кожух машины на пластину, а затем нагреть ее, чтобы выпекать.

4. Если скорость откачки внезапно замедляется, проверьте утечку с помощью оборудования, ключевые части: под тиглем и термопарой, роторной машиной и контактной частью насоса.

5. Регулярно поддерживайте и заменяйте масло для насоса.

▲ Процедура эвакуации

Сначала проверьте состояние вакуумной камеры под вакуумом или в атмосфере, определите две процедуры запуска вакуумного оборудования: первые, рабочие процедуры под вакуумом, во-вторых, рабочие процедуры в атмосферном состоянии.

1. Если камера находится в состоянии низкого вакуума, задвижка не открывается сразу, чтобы избежать обратного потока вакуумного масла.

Правильный шаг операции - сначала открыть кран, затем открыть механический насос и включить питание вакуумного манометра. Обратите внимание, что показания вакуумметра не превышают 30Pa. Затем включите молекулярный насос и задвижку, когда рабочая частота молекулярного насоса достигает 50 Гц.

2. Если камера находится под атмосферой, первое, что нужно сделать, это обнаружить утечку, то есть закрыть дверцу камеры и выпускной клапан. Затем включите кран, задвижку, механический насос и источник питания вакуумного манометра. Обратите внимание на то, что показания вакуумметра показывают около 30Pa, а затем включите молекулярный насос.

3. Когда молекулярный насос работает нормально (рабочая частота стабильна при 450 Гц), затем нажмите кнопку пуска устройства ионизационного датчика, чтобы увидеть степень вакуума.

4. Когда вакуум достигает 10 ^-4 - 10 ^-5 Па, ионный насос можно включить. В это время затвор клапана молекулярного насоса закрывается первым, но молекулярный насос не отключается до тех пор, пока напряжение ионного насоса не достигнет 4000 В (после стабильной работы ионного насоса), затем выключите молекулярный насос и механический насос.

5. Если нет необходимости поддерживать вакуум, сначала выключите вакуумный манометр, а затем нужно закрыть задвижку ионного насоса, не выключайте ионный насос, но держите ионный насос в рабочем состоянии для поддержания своей внутренней среды.