Меры предосторожности для калибровки ионизационного вакуумметра

Вакуумметр можно разделить на абсолютный вакуумный манометр и относительный вакуумметр в соответствии с его измерительными свойствами. Абсолютным вакуумным датчиком является вакуумный датчик, определяющий давление путем измерения самой физической величины. Например, манометр U-типа, вакуумный манометр сжатия, является абсолютным вакуумным датчиком. Вакуум-калибр, определяющий давление, измеряя физическую величину, связанную с давлением, и сравнивая ее с абсолютным вакуумным датчиком, называется относительной вакуумной калибровкой. Ионизационный вакуумный манометр и вакуумметр вакуумной емкости, вакуум-манометр теплопроводности, все из которых являются относительными вакуумными манометрами.

Структура ионизационного датчика представляет собой цилиндрический триод с тремя электродами: катод-излучающий, ускоряющий затвор электрон, сбор полярно-собирающих ионов. Общий катод - плюс нулевой потенциал, сетка плюс положительный потенциал, а коллектор - плюс отрицательный потенциал.

Преимущества :

• Измерьте общее давление газа и пара.

• Быстрая реакция, непрерывное считывание и дистанционное управление.

• Широкий диапазон измерений, хорошая линейность и высокая точность измерений.

Недостатки:

• Когда давление выше 10 ^-1 pa, легко окислять нить, и как только система внезапно выдает атмосферу, датчик будет сожжен.

• Ошибка дефляции стеклянной лампы и электрода приводит к ошибке измерения.

Калибровку ионизационного вакуумметра необходимо обратить внимание на следующие шесть пунктов:

1. Когда датчик подключен к системе, незапечатанный датчик и измерительные цепи соединены вместе, чтобы проверить, является ли датчик нормальным, а затем принимает систему.

2. В процессе калибровки, если произошел сбой и неопознанный, возьмите неоткрытый датчик и судите, является ли это проблемой калибра или проблемой цепи. Если нормально заменить нераспечатанный датчик, это указывает на то, что исходный датчик находится в проблемах; если нераспечатанный датчик все еще ненормален, что указывает на проблему с контуром, тем самым сужая область неисправности.

3. Установка датчика должна быть установлена вертикально. При нагревании и дегазации и выпекании сетка и катод будут деформироваться, а относительное положение изменится, что серьезно повлияет на точность измерения.

4. Перед открытием нити можно судить о том, что вакуум в вакуумной системе меньше 10 ^-1 Па, затем откройте нить. Если степень вакуума слишком низкая, это приведет к тому, что катод калибровочного окисления и будет гореть.

5. Перед считыванием сначала следует отрегулировать ток излучения, нулевую точку и полную степень. Конкретными шагами являются: ток эмиссии - нулевая точка - полная шкала - ток эмиссии.

6. Ионизационный вакуумметр можно откалибровать только на 10 минут предварительного нагрева.