Измерение вакуумной степени известных смешанных газовых композиций
Jul 12, 2018| При испытании вакуумной системы смешанного газа с вакуумным датчиком теплопроводности, если известно, что процентное содержание Vi (i = 1, 2, 3, ..., n) различных газов в смешанном газе, относительная чувствительность S смешанного газа для воздуха можно рассчитать по следующей формуле.
Где: Vi - объемный процент i-го газа;
Sri - относительная чувствительность i-го газа.
После вычисления Sr результат, измеренный указанным выше способом, умножается на Sr для получения фактического вакуума смешанного газа.
←
Предыдущая статья: О PVD-покрытии
Следующая статья: Магнетронного распыления и это поколение условия
→
Отправить запрос


