Измерение вакуумной степени известных смешанных газовых композиций

Jul 12, 2018|


При испытании вакуумной системы смешанного газа с вакуумным датчиком теплопроводности, если известно, что процентное содержание Vi (i = 1, 2, 3, ..., n) различных газов в смешанном газе, относительная чувствительность S смешанного газа для воздуха можно рассчитать по следующей формуле.

 

blob.png


Где: Vi - объемный процент i-го газа;


Sri - относительная чувствительность i-го газа.

 

blob.png


После вычисления Sr результат, измеренный указанным выше способом, умножается на Sr для получения фактического вакуума смешанного газа.


Предыдущая статья: О PVD-покрытии
Отправить запрос